功能和應用范圍

透射方式：

對透明薄膜樣品，照明光源經物鏡聚焦在樣品表面，光探針在薄膜的另一面表面掃描，由探針接收樣品表面散射光，獲得近場圖像。采用長焦距物鏡使物鏡焦點能夠到達并照明厚樣品的表面。物鏡在三維空間可調。

反射方式：

對不透明樣品可以改變儀器光路和探測器位置實現反射式測量。需另外增加接收探頭。

提供windows系統下的應用程序。可以同時獲取光學圖像和形貌圖像的，提供一至兩個附加的采樣通道和相應的圖像顯示存儲功能。提供圖像數據與標準圖像格式的轉換。提供偽3維圖像顯示，FFT濾波、平面校正、曲面校正功能。

技術指標

1. x－y線性掃描范圍20um×20um；可擴展到30 um×30 um。
2. 掃描臺在z方向的線性移動范圍 3um，可擴展；
3. 光學分辨率: 50nm－100nm，取決于探針質量；
4. 光源波長: 530nm，650nm, 980nm可選；
5. 樣品尺寸：小于 20mm×20mm；
6. 樣品臺水平移動范圍 6mm×6mm；
7. 剪切力分辨率z: 1nm；x/y：10nm
8. z步進距離：小于200nm。