典型的系統(tǒng)配置包括：

• 放大倍數(shù)為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
• 1/3英寸CCD相機(jī); 0.5倍耦合鏡
• 自動(dòng)Z軸，30毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 手動(dòng)XY載物臺，100毫米x 100毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 具有3GB內(nèi)存和320GB硬盤的電腦，24英寸顯示器，以及澤塔三維功能軟件

三維表面瀏覽 :
傾斜，旋轉(zhuǎn)，縮放，濾波
體積計(jì)算

二維表面分析 :
特征尺寸，直徑，面積
圖案間距，標(biāo)準(zhǔn)偏差
表面粗糙度
區(qū)域平均臺階高度

輪廓測量
臺階高度
粗糙度參數(shù)
多橫截面分析
平均值測量標(biāo)尺
點(diǎn)對點(diǎn)測量標(biāo)記
傾斜度和表面波度補(bǔ)償

應(yīng)用：三維成像

顯微鏡 3D測量顯微鏡 3D成像顯微鏡 3D顯微系統(tǒng) 3D高清晰度電子顯微系統(tǒng) 高清視頻顯微鏡 三維輪廓儀 3D輪廓儀

典型的系統(tǒng)配置包括：

• 放大倍數(shù)為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
• 1/3英寸CCD相機(jī); 0.5倍耦合鏡
• 自動(dòng)Z軸，30毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 手動(dòng)XY載物臺，100毫米x 100毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 具有3GB內(nèi)存和320GB硬盤的電腦，24英寸顯示器，以及澤塔三維功能軟件

三維表面瀏覽 :
傾斜，旋轉(zhuǎn)，縮放，濾波
體積計(jì)算

二維表面分析 :
特征尺寸，直徑，面積
圖案間距，標(biāo)準(zhǔn)偏差
表面粗糙度
區(qū)域平均臺階高度

輪廓測量
臺階高度
粗糙度參數(shù)
多橫截面分析
平均值測量標(biāo)尺
點(diǎn)對點(diǎn)測量標(biāo)記
傾斜度和表面波度補(bǔ)償

應(yīng)用：三維成像

宏觀原子力顯微鏡 樣品形貌和粗糙度超出原子力顯微鏡測量范圍？ 沒關(guān)系。上圖展示了用我們的儀器所產(chǎn)生的噴墨打印機(jī)零件的三維圖像。圖上顯示的尺寸已超出了原子力顯微鏡的測量能力范圍。	微觀三坐標(biāo)測量儀 樣品形貌在三坐標(biāo)測量儀上無法分辨？ 沒問題。上圖展示了用我們的儀器所產(chǎn)生的精加工微波零件的三維圖像。圖上顯示的微波通道側(cè)墻的傾角等是傳統(tǒng)的三坐標(biāo)測量儀所測不了的。	獲取數(shù)據(jù)的時(shí)間 沒有足夠的時(shí)間來趕測眾多參數(shù)？ 不要緊。在不到一分鐘之內(nèi)作個(gè)常規(guī)掃描，澤塔儀器可以對大視場區(qū)域進(jìn)行成像，并向您提供形貌、尺寸和薄膜等相關(guān)信息。	獲取數(shù)據(jù)的費(fèi)用 為獲取數(shù)據(jù)的花費(fèi)和回報(bào)率擔(dān)憂？ 不用擔(dān)心。我們的儀器不僅初始投資成本低，而且維護(hù)成本更低。難怪連那些對成本敏感的應(yīng)用，例如監(jiān)測太陽能電池蝕刻工藝過程等，都選擇使用我們的儀器。

顯微鏡 3D測量顯微鏡 3D成像顯微鏡 3D顯微系統(tǒng) 3D高清晰度電子顯微系統(tǒng) 高清視頻顯微鏡 三維輪廓儀 3D輪廓儀