• 0.1-5.0 微米感應度
• 1.0 立方英尺/分鐘（28.3行數(shù)/分鐘）流速
• 連接4通道同時數(shù)據(jù)顯示
• 長壽命密封 HeNe 633nm 激光
• 小點陣打印
• 狀態(tài)指示器
• 脈沖輸出
• 不銹鋼外殼
• 面向設備監(jiān)測系統(tǒng)的界面
• 外置式真空源
• 值得信賴的設計

• 兩年質(zhì)量保證
• 空間有限時便于安裝
• 每點高性價比
• 完整的驗證數(shù)據(jù)
• 提供持續(xù)實時監(jiān)測數(shù)據(jù)
• 綜合安裝系統(tǒng)
• 全球支持
• 用戶低成本

• 潔凈室監(jiān)測
• 設備認證
• 設備監(jiān)測
• 監(jiān)測和FIMS封裝
• 潔凈室凈衣區(qū)
• 潔凈室包裝區(qū)
• 半導體業(yè)
• 航天航空
• 硬盤制造業(yè)
• 醫(yī)藥包裝和制造

粒徑范圍

0.1-5.0微米

通道大小

標準:0.1,0.15, 0.25,0.3,0.5,0.7,1.0 微米
標準:0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.5,1.0,5.0 微米

通信模式

RS 485 Modbus 通行協(xié)議, RS485 MR

計數(shù)效能

50%@0.5微米;100%微粒>0.75微米（每JIS）

流速

1.0 CFM （28.3 LPM） 1.0立方英尺/分鐘（28. 3 行數(shù)/分鐘）

激光源

高效 HeNe 激光

零計數(shù)度

<1計數(shù)/5分鐘（每JIS）

真空要求:

必要的外置式真空 1.0 立方

LED 指示器

電源, 流速, 采樣, 保養(yǎng)

校驗

NIST 跟蹤

軟件支持

Lighthouse Monitoring System, LMS Express, LMS Express RT, LMS Express RT Plus

濃度限度

40,000個/立方英尺@5%重疊損失

外殼

不銹鋼外殼

電源

24 伏直流電, 1.7 安培

尺寸

17.7英寸（長）×5.0英寸（寬）×5.0英寸（高）[44.96 x 12.7 x12.7 cm]

重量

11.5 磅（5.23 千克）

操作

溫度50°F到104°F（10°Ｃ到40＇°Ｃ）／濕度20%到95%無凝結

存儲

溫度14°F到122°F（-10°Ｃ到50＇°Ｃ）／濕度98%無凝結