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S5U-PH激光干涉儀
S5U-PH與G5U-PH手機(jī)激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測(cè)而定制，可以滿足更大的透過(guò)波前PV值的測(cè)量。其中S5U-PH為低成本版本，采用半導(dǎo)體激光器替代昂貴的進(jìn)口He-Ne激光器，且不標(biāo)配氣浮平臺(tái)。
一、儀器規(guī)格參數(shù)
S5U-PH與G5U-PH激光干涉儀為3D屏及全面屏攝像孔檢測(cè)而定制，可以滿足更大的透過(guò)波前PV值的測(cè)量。其中S5U-PH為低成本版本，采用半導(dǎo)體激光器替代昂貴的進(jìn)口He-Ne激光器，且不標(biāo)配氣浮平臺(tái)。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
| 產(chǎn)品型號(hào) | S5U-PH |
| 產(chǎn)品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
| 測(cè)試口徑 | Φ5mm |
| 輔助對(duì)準(zhǔn)口徑 | Φ30mm |
| 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進(jìn)口半導(dǎo)體激光器（635nm) |
| 光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場(chǎng)）與測(cè)試（Φ5mm小視場(chǎng)）模式電控切換 |
| 電源 | AC220V50HZ |
軟件部分：
| 軟件名稱 | 移相算法（簡(jiǎn)稱PH） |
| 分析項(xiàng)目 | 透過(guò)波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 測(cè)試重復(fù)性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測(cè)試允許誤差 | PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場(chǎng)調(diào)整為1根條紋） 1λ |
| 測(cè)試時(shí)間 | 1.5~2秒 |
二、儀器特點(diǎn)
1、攝像孔干涉圖圖像大
隨著手機(jī)行業(yè)的發(fā)展，3D屏及全面屏的攝像孔開始無(wú)限靠近弧邊，相應(yīng)的，透過(guò)波前的PV值也遠(yuǎn)大于之前的2D及2.5D屏。尤其是攝像孔邊緣區(qū)域（貼近弧邊）的干涉條紋會(huì)非常密集，超出上一代產(chǎn)品G10U-PH激光干涉儀（及行業(yè)內(nèi)與G10相當(dāng)?shù)漠a(chǎn)品）的分辨極限，導(dǎo)致無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量。
G5U-PH與S5U-PH便針對(duì)該特殊需求而設(shè)計(jì)，可以對(duì)超大像差實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確分辨及測(cè)試。其中S5U-PH是5mm激光干涉儀的低成本版本，采用進(jìn)口半導(dǎo)體激光器替代He-Ne激光器。
相同攝像孔在G5U/S5U及G10U干涉儀圖像對(duì)比
可準(zhǔn)確測(cè)量的像差，S5U-PH相對(duì)于G10U-PH的升級(jí)見(jiàn)下表：
| | G10U-PH | G5U-PH | S5U-PH |
| Tilt | 10λ（20fr） | 20λ（40fr） | 15λ（30fr） |
| PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值） | 1λ | 2λ | 2λ |
注：Tilt數(shù)值對(duì)應(yīng)平行度，PV（背景零場(chǎng)測(cè)試值）為背景調(diào)整為零條紋時(shí)，直接測(cè)量所得的PV值。
2、空腔調(diào)整零場(chǎng)精度高
在測(cè)試攝像小孔區(qū)域的平行度時(shí)，需要預(yù)先把空腔調(diào)整至接近零條紋。當(dāng)測(cè)試口徑為Φ5mm時(shí)，由于觀察視場(chǎng)非常小，調(diào)整零條紋的精度較低。為此，S5U-PH干涉儀引入輔助觀察模式，可以在Φ30mm的大視場(chǎng)下調(diào)節(jié)空腔的零場(chǎng)，保證零場(chǎng)調(diào)節(jié)精度。
三、儀器操作說(shuō)明
圖1、S5U-PH干涉儀結(jié)構(gòu)圖
圖2、干涉儀控制箱接口圖
1、S5U-PH干涉儀包括干涉儀主機(jī)、控制箱（集成了圖像采集與移相控制功能）、移相器、透射標(biāo)準(zhǔn)鏡、待測(cè)樣品測(cè)試工裝、反射標(biāo)準(zhǔn)鏡、俯仰調(diào)整架及監(jiān)視器。
2、參照?qǐng)D2將干涉儀、移相器、控制箱、監(jiān)視器與計(jì)算機(jī)建立連接。
3、將透射標(biāo)準(zhǔn)鏡與反射標(biāo)準(zhǔn)鏡分別安裝在移相器及機(jī)架上的俯仰調(diào)整架上，如圖1所示。
4、將“對(duì)準(zhǔn)/測(cè)試切換開關(guān)”切換到“對(duì)準(zhǔn)”模式，將透射標(biāo)準(zhǔn)鏡及反射標(biāo)準(zhǔn)鏡反射回的光點(diǎn)調(diào)節(jié)到十字叉絲中心并重合；切換到“測(cè)試”模式，將背景干涉條紋調(diào)節(jié)至零場(chǎng)（條紋數(shù)接近0）。
5、將待檢樣品插入兩個(gè)標(biāo)準(zhǔn)鏡之間的干涉腔內(nèi)。此時(shí)的干涉條紋的數(shù)目就代表了樣品前后表面的平行度，條紋的彎曲或不規(guī)則程度就表征了樣品的透過(guò)波前。乾曜光學(xué)可以給客戶定制各種測(cè)試檢具，保證檢測(cè)過(guò)程的效率。
