產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應
詳細內(nèi)容
一、儀器規(guī)格參數(shù)
G5U-PH激光干涉儀是G10U-PH的高分辨率升級版，為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足更大的透過波前PV值的測量。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
| 產(chǎn)品型號 | G5U-PH |
| 產(chǎn)品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
| 測試口徑 | Φ5mm |
| 輔助對準口徑 | Φ30mm |
| 標準鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進口He-Ne激光器（632.8nm) |
| 光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換 |
| 電源 | AC220V50HZ |
軟件部分：
| 軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
| 分析項目 | 透過波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 測試重復性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測試允許誤差 | PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調(diào)整為1根條紋） 1λ 2λ |
| 測試時間 | 1.5~2秒 |
二、儀器特點
1、可滿足超大像差的檢測
隨著手機行業(yè)的發(fā)展，3D屏及全面屏的攝像孔開始無限靠近弧邊，相應的，透過波前的PV值也遠大于之前的2D及2.5D屏。尤其是攝像孔邊緣區(qū)域（貼近弧邊）的干涉條紋會非常密集，超出G10U-PH激光干涉儀的分辨極限，導致無法準確測量。
G10U-PH的高分辨率升級版，型號G5U-PH便針對該特殊需求而設計，可以對超大像差實現(xiàn)準確分辨及測試。
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| G10U-PH | G5U-PH |
| Tilt | 10λ（20fr） | 20λ（40fr） |
| PV（背景零場測試值） | 1.5λ | 3λ |
注：Tilt數(shù)值對應平行度，PV（背景零場測試值）為背景調(diào)整為零條紋時，直接測量所得的PV值。
1、空腔調(diào)整零場精度高
在測試攝像小孔區(qū)域的平行度時，需要預先把空腔調(diào)整至接近零條紋。當測試口徑為Φ5mm時，由于觀察視場非常小，調(diào)整零條紋的精度較低。為此，G5U-PH干涉儀引入輔助觀察模式，可以在Φ30mm的大視場下調(diào)節(jié)空腔的零場，保證零場調(diào)節(jié)精度。
2、光源為進口He-Ne激光器（波長632.8nm）
He-Ne激光器相比半導體激光相比有如下優(yōu)點：相干性穩(wěn)定、優(yōu)良，干涉圖的對比度及清晰度更高，且壽命很長（一般可達到2萬小時以上）。半導體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會使干涉條紋的對比度、清晰度周期性變差，對數(shù)字化測量有很大影響；且壽命較短，易被靜電損傷。
圖1、G5U-PH干涉儀結(jié)構(gòu)圖
