產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
儀器規(guī)格參數(shù)表
產(chǎn)品型號(hào) | G200M | G150M | G150S |
測量方式 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 | 菲索干涉原理 |
有效通光口徑 | 200mm | 152.4mm(6英寸) | 152.4mm(6英寸) |
標(biāo)準(zhǔn)鏡材料 | 熔石英(康寧7980) | 熔石英(康寧7980) | 熔石英(康寧7980) |
光源 | 氦氖激光(632.8nm) | 氦氖激光(632.8nm) | 半導(dǎo)體激光(635nm) |
連續(xù)變焦倍數(shù) | 1-6.7倍 | 1-6.7倍 | 固定倍率 |
光路切換 | 對(duì)準(zhǔn)(十字叉絲)與測試(干涉場)模式電控切換 | ||
顯示方式 | 計(jì)算機(jī)或獨(dú)立監(jiān)視器實(shí)時(shí)顯示 | ||
平面透過標(biāo)準(zhǔn)鏡 | PV:優(yōu)于λ/15 | PV:優(yōu)于λ/20,可定制更高精度標(biāo)準(zhǔn)鏡 | |
平面反射標(biāo)準(zhǔn)鏡 | 選配 | 標(biāo)配 | 選配 |
衰減過濾片 | 選配 | 選配 | 選配 |
儀器尺寸·(長X寬X高) | 550X550X1100mm | 550X550X1070mm | 550X550X1070mm |
儀器重量 | 100KG | 80KG | 80KG |
電源 | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz | AC100-240V 50/60Hz |
氣浮平臺(tái)(長X寬) | 標(biāo)配(1200X600mm) | 標(biāo)配(1200X600mm) | 選配 |
儀器特點(diǎn)
精度高:標(biāo)準(zhǔn)鏡精度高,且材料經(jīng)過精密退火處理,穩(wěn)定可靠; 調(diào)整方便:可通過切換開關(guān)選擇對(duì)準(zhǔn)與干涉場兩種顯示模式,方便調(diào)整; 條紋真實(shí):可調(diào)節(jié)共軛成像位置,得到清晰、準(zhǔn)確、真實(shí)的干涉條紋; 性能優(yōu)良:儀器具備良好的隔振性能,適合光學(xué)加工現(xiàn)場使用; 配件豐富:選配簡易密封罩,可將測試腔與外界氣流隔離,降低測試過程中氣流擾動(dòng),提高判斷的準(zhǔn)確性 |
儀器初始化:開機(jī)后穩(wěn)定15分鐘,使激光器模式穩(wěn)定;將儀器右側(cè)的轉(zhuǎn)換開關(guān)切換至“對(duì)準(zhǔn)調(diào)整”顯示模式,確保標(biāo)準(zhǔn)鏡反射光點(diǎn)位于十字叉絲中央。 光路粗調(diào):將待測元件放置于載物臺(tái)上,將轉(zhuǎn)換開關(guān)切換至“對(duì)準(zhǔn)調(diào)整”顯示模式,調(diào)整載物臺(tái)的兩維角度調(diào)節(jié)旋鈕,使待測面反射光點(diǎn)與標(biāo)準(zhǔn)鏡反射光點(diǎn)在十字叉絲中心重合。 光路精調(diào):將轉(zhuǎn)換開關(guān)切換至“干涉圖”顯示模式,此時(shí)監(jiān)視器上已經(jīng)可以顯示出密集的干涉條紋,微調(diào)標(biāo)準(zhǔn)鏡調(diào)整架的兩維角度調(diào)節(jié)旋鈕,將視場內(nèi)的干涉條紋調(diào)整至3~5根。 條紋判讀:依據(jù)GB 2831-81(光學(xué)零件的面形偏差檢驗(yàn)方法),并結(jié)合我們?yōu)榭蛻籼貏e制作的“干涉圖與波像差對(duì)比圖”(見附錄),進(jìn)行條紋判讀。 3.2、特殊操作 干涉圖清晰度調(diào)節(jié):通過調(diào)整標(biāo)準(zhǔn)鏡旁邊的“共軛調(diào)節(jié)旋鈕”,使干涉圖清晰的顯示在監(jiān)視器上。儀器在出廠之前已經(jīng)校正到*佳成像位置,一般情況下不需要進(jìn)行重新調(diào)整。 干涉圖對(duì)比度調(diào)節(jié):當(dāng)待測表面鍍高反膜時(shí),干涉條紋對(duì)比度會(huì)較差,此時(shí)推薦選配衰減過濾片,將其插入待測元件與標(biāo)準(zhǔn)鏡之間衰減光強(qiáng),可獲得良好的條紋對(duì)比度。 |