G100臥式激光干涉儀
G100臥式激光干涉儀的有效口徑為100mm(4英寸)。乾曜光學 將世界干涉測量技術與大尺寸、大曲率鏡片測量的市場需求相結(jié)合，優(yōu)化光學系統(tǒng)和機械系統(tǒng) 結(jié)構(gòu)，將高精度的成像系統(tǒng)和圖像采集系統(tǒng)，穩(wěn)定的激光干涉技術和1-6.7倍圖像放大功能等一系列 高精技術融合，滿足科研級高精密光學元件和光學系統(tǒng)的測量的高端要求。

主要用途： 球面類光學元件 （包括各類玻璃、塑料透鏡、球 面反射鏡、光圈量規(guī)、球面軸承 等）表面光圈、局部形變的測量， 球面曲率半徑的測量（配合光柵 尺）。平面類光學元件（平面鏡、 水晶、陶瓷、標準量塊等）的表 面光圈的測量。光學系統(tǒng)的在線 監(jiān)視裝調(diào)和系統(tǒng)精度測量。

儀器規(guī)格參數(shù)表

干涉條紋分析軟件

移相干涉條紋分析軟件和靜態(tài)干涉條紋分析軟件供選擇，實現(xiàn)數(shù)字化測量。

 

 

核心器件大品牌，性能穩(wěn)定

 

1/2英寸尺寸黑白CCD，相對1/3英寸CCD加大的感光面積，有效提高成像分辨率；
進口氦氖激光器，性能穩(wěn)定，壽命長。

 

 

人體工學，匠心設計

球面測量系統(tǒng)：

➢45mm寬規(guī)格導軌，精度高，滑動順暢，五維調(diào)整架安裝于導軌上方。
➢五維調(diào)整架XYZ平移全部使用直線導軌結(jié)構(gòu)，線性好，彈簧輔助消間隙。
➢五維調(diào)整架可調(diào)同軸透鏡座（三爪）夾持160mm。
➢可調(diào)同軸透鏡座（三爪）調(diào)節(jié)螺桿反向螺牙設計，實現(xiàn)順時針旋轉(zhuǎn)收縮，逆時針旋轉(zhuǎn)擴張

 

 

世界品牌球面測量系統(tǒng)，中國特供：

➢單根25mm細導軌結(jié)構(gòu)，載物臺直接在氣浮平臺上摩擦滑動，磨損氣浮平臺。
➢五維調(diào)整架XYZ平移全部使用交叉導軌結(jié)構(gòu)，容易磨損產(chǎn)生間隙，不可消除。
➢五維調(diào)整架可調(diào)同軸透鏡座（三爪）夾持僅110mm。
➢可調(diào)同軸透鏡座（三爪）調(diào)節(jié)螺桿正向螺牙設計，順時針旋轉(zhuǎn)擴張，逆時針旋轉(zhuǎn)收縮，與操作習慣相反，容易造成鏡片摔落。

100mm和150mm球面標準鏡頭(G100和G150) 

 

 球面標準鏡頭系列有多個規(guī)格匯聚鏡頭和長焦距發(fā)散鏡頭，提供定制鏡頭。標準鏡頭分別與Zygo 4英寸和6英寸干涉儀通用。

 選配要點：

➢待測球面的R/D(曲率半徑與口徑的比值)應當大于球面鏡頭的F數(shù)，才能實現(xiàn)全口徑測量；建議選取F數(shù)*接近(略小于)被測面R/D值的球面鏡頭。
➢凸面曲率半徑與口徑的測量范圍受限于鏡頭標準面的曲率半徑與有效通光口徑；凹面的測量范圍受限于測試腔的長度(也即是儀器導軌的有效移動距離)與寬度(也即是載物臺的橫向尺寸)。

 

普通精度球面標準鏡技術參數(shù)
型號	有效口徑	材料	精度 （λ=633nm）
QY-150-Fxx	152.4mm(or 6 inches)	熔石英 (Corning 7980)	PV<λ/10
QY-100-Fxx	101.6 mm(or 4 inches)	熔石英 (Corning 7980)	PV<λ/10 和 PV<λ/20