產(chǎn)品展示
MPS-10X型多功能型探針臺(tái)
點(diǎn)擊次數(shù)：0發(fā)布時(shí)間：2020/6/9 16:03:04
更新日期：2025/5/8 14:36:03
所 在 地：中國大陸
產(chǎn)品型號(hào)：
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
產(chǎn)品簡(jiǎn)介 ：
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測(cè)試得探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測(cè)試得探針臺(tái)相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場(chǎng)應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡(jiǎn)易式探針臺(tái)，在滿足基本測(cè)試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺(tái)系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺(tái)，探針座，四維調(diào)整載片臺(tái)（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
主要技術(shù)指標(biāo)：
結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，價(jià)格實(shí)惠
可用于12寸以內(nèi)樣品測(cè)試
兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）
精密絲杠/燕尾傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)，無回程差設(shè)計(jì)
應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用
1微米以上電極/PAD使用
模塊化設(shè)計(jì)，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
技術(shù)參數(shù)選型：
| 規(guī)格/參數(shù) | |||||||
| 型號(hào) | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | |||
| 電力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
| 行程 | XY行程50mm，Z軸升降60mm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊 | ||||||
| 移動(dòng)精度 | 標(biāo)配10μm，可升級(jí)（5μm，3μm，1μm） | ||||||
| 背電極測(cè)試功能 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | |||
| 定制模塊 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | |||
| 探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
| 機(jī)械精度 | 標(biāo)配10μm，可升級(jí)（5μm，3μm，1μm） | ||||||
| 漏電精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） | ||||||
| 安裝方式 | 直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附 | ||||||
| 接口形式 | 香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC | ||||||
| 光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍（可升級(jí)到720倍） | |||||
| CCD像素 | 500W（可升級(jí)200W） | ||||||
| 中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm | ||||||
| 顯示器 | 8寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個(gè)屏幕（可升級(jí)大尺寸顯微鏡） | ||||||
| 可選附件 | 加熱卡盤 | 高低溫卡盤 | 鍍金卡盤 | ||||
| 隔振支架 | 積分球測(cè)試選件 | 屏蔽箱 | |||||
| 射頻測(cè)試附件 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長(zhǎng)單色可調(diào)光纖光源（測(cè)光電流） | |||||
| 顯微鏡調(diào)節(jié)手動(dòng)/電動(dòng)調(diào)節(jié)裝置 | 激光切割顯微鏡 | 轉(zhuǎn)接頭配件 | |||||
