產品介紹：

抽真空系統(tǒng)組成：真空系統(tǒng)管路、擴散泵機組/分子泵機組、預抽前級羅茲泵機組、水冷系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)、電器保護系統(tǒng)、自動控制系統(tǒng)。

產品屬性：

    電控技術要求擴散泵機組和羅茨泵機組可進行手動控制和自動控制。羅茨泵機組：1.機械泵與羅茨泵可進行手動和自動控制。2.機械泵進氣口有防返油裝置。3.擴散泵排氣口有防返油裝置。4.擴散泵排氣口安裝真空規(guī)管，可顯示真空度，在真空度過低時保護擴散泵。真空閥可進行手動控制和自動控制，并根據設備當前工作狀態(tài)防止誤操作并報警提示。系統(tǒng)具備自動保護功能和手動操作功能。

使用說明：

設備各電機有獨立的過熱過流保護功能，以保護設備件；操作控制面板按鈕觸摸屏等控制電壓均24VDC安全電壓；設備工作在真空狀態(tài)，不存在壓力安全問題。