P-16型表面輪廓儀可以為多種不同表面提供全面的兩維和三維形貌分析特性，包括半導(dǎo)體硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、精加工表面、光電子、薄膜/化學(xué)涂層、生物醫(yī)學(xué)器件和平板顯示。儀器運(yùn)行于Windows® XP操作平臺，使用金剛石探針接觸測量的方法來實(shí)現(xiàn)高精度表面形貌分析應(yīng)用。擁有簡潔直觀的操作界面，P-16能夠精確可靠地量測出臺階高度、表面粗糙度、細(xì)微波紋度及其他的基片形貌參數(shù)。三種不同的測量頭配置可以滿足各種表面形貌分析的需求，同時具有頂視和側(cè)視鏡頭使得樣品的定位更趨于簡單。