產(chǎn)品展示
蘇州南通上海北京鄭州洛陽宜興無錫常熟張家港鎮(zhèn)江南京合肥濟南青島廈門福州漳州珠海如皋嘉興嘉定英�？礽nficon T
點擊次數(shù)：75發(fā)布時間：2015/1/31 21:15:20
更新日期：2015/1/31 21:15:20
所 在 地：歐洲
產(chǎn)品型號：inficon Transpector XPR3殘余氣體分析儀
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細內(nèi)容
Transpector XPR3殘余氣體分析儀是新一代氣體分析系統(tǒng)，可用于基于四極桿的高壓過程氣體分析。 它借鑒了之前 INFICON 系統(tǒng)的成功經(jīng)驗，具有前所未有的靈敏度、準確性和靈活性，可以監(jiān)控氣相沉積 (PVD) 過程。 Transpector XPR3 取得了一系列技術(shù)上的突破，無需大型、復(fù)雜的壓力轉(zhuǎn)換設(shè)備，即可在 20 mTorr 至超高真空范圍內(nèi)操作。
功能
- 經(jīng)過重新設(shè)計的離子源限度減少污染積存，可延長使用壽命，提供更純凈的信號。
- 新 EM 在 PVD 過程壓力下工作，可實現(xiàn)更快速、更純凈的數(shù)據(jù)收集，消除 FC 向 EM 過度的必要，更便于數(shù)據(jù)分析。
- 更長的新型四極桿提高了低質(zhì)量范圍下的濾波性能，增強了豐度靈敏度，從而提高了氫氣檢測靈敏度。
典型應(yīng)用
- PVD 過程模塊
- 預(yù)清洗模塊
- 非群集 PVD 工具
- 夾鉗式除氣模塊
