產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
INFICON Guardian 是光伏組件、OLED、光伏裝置、超導(dǎo)薄膜以及 MBE 制造應(yīng)用的理想之選。
Guardian 共沉積系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES) 技術(shù)而構(gòu)建。利用 EIES，要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱，從而產(chǎn)生光子。產(chǎn)生的光通過光濾波器達(dá)到光電倍增管 (PMT) 檢測器，光電倍增管檢測器可以測量所通過波長的發(fā)射強(qiáng)度。然后，INFICON Guardian 控制器產(chǎn)生信號來控制該材料源。對于多種材料，可以將其他檢測器與相應(yīng)的光濾波器結(jié)合使用。
完整的 Guardian 系統(tǒng)至少包括一個傳感器、一個 PMT 檢測器、一個光濾波器、一個 Guardian 控制器裝置以及一個安裝有 Guardian 軟件的 PC（用戶自備）。EIES 通常用于控制多種材料的沉積，因此，大多數(shù) EIES 系統(tǒng)還包括其他傳感器、檢測器、光學(xué)器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校準(zhǔn)或控制某些材料的沉積速率。如需關(guān)于典型系統(tǒng)的更多信息，請參閱下面的 Downloads（下載）選項卡中的《Guardian 配置指南》。
要配置 Guardian 共沉積系統(tǒng)，需要考慮以下幾點
沉積材料的初級和二級發(fā)射波長分別是多少？
如果不同材料峰值相近，您可能需要監(jiān)控二級發(fā)射波長，該波長的信號強(qiáng)度較低。
沉積過程中，真空室中存在哪些本底氣體？這些氣體對應(yīng)的發(fā)射波長是多少？
如果本底氣體的發(fā)射對沉積材料造成干擾，建議使用氣體補(bǔ)償傳感器。
EIES 使用定義的原子種類范圍時*有效。分子種類產(chǎn)生的發(fā)射光譜不穩(wěn)定或者過寬，無法準(zhǔn)確測量。不建議將 EIES 用于有機(jī)材料。各個具體應(yīng)用的*佳 EIES 系統(tǒng)配置由以上因素及其他因素確定。
功能
- 監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時沉積過程
- 從 0.1 至 10,000 Å/s 的沉積速率
- 集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制
- 12 個繼電器輸出和 16 個數(shù)字輸入
- 用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
- 與 INFICON Sentinel® 傳感器兼容
