產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
探頭配置
前載式雙探頭的標(biāo)準(zhǔn)配置中水管與晶片平行。當(dāng)晶體監(jiān)測沉積速率時(shí),氣動(dòng)晶體擋板保護(hù)備份晶體。擋板是下拉式結(jié)構(gòu),
便于更換晶體。為有效地消除RF干擾,暴露的晶體電極是全部接地的。
法蘭
INFICON 提供兩種法蘭,1" 螺紋法蘭或 2¾" (CF40) ConFlat® 法蘭。 按用戶要求可提供 KF40 法蘭。
法蘭連接
前載式雙探頭可訂購與法蘭的組合。探頭/ 法蘭連接可采用直口接頭或焊接 ( 當(dāng)與 1" 螺紋法蘭組合時(shí)) 。如需焊接連接,必須在訂購前填寫INFICON 提供的一個(gè)探頭長度規(guī)格表。直口接頭易調(diào)整,無釬焊或焊接的要求。法蘭可沿著管長移動(dòng),對于 "E" 長度探頭, 在真空系統(tǒng)內(nèi)的長度可在 20.3 厘米至 71.1 厘米 (8"- 28") 的范圍內(nèi)調(diào)整,對于 "G" 長度探頭,一旦確定所需長度,直口接頭可用手指擰緊管密封件。
優(yōu) 點(diǎn)
■ 雙晶體
■ 晶體擋板
■ 前載式晶體支架
■ 易安裝
■ 可提供:
- 2.54 厘米 (1 " ) 螺紋法蘭
- CF40 法蘭
■ 如訂購直口接頭的, 可調(diào)節(jié)長度
■ 如訂購直口接頭的, 無需釬焊或焊接至法蘭
■ 可按客戶要求提供特定長度焊接的探頭 / 法蘭組合.