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天津1200℃真空CVD系統(tǒng)
點擊次數：52發(fā)布時間：2016/12/19 16:31:13
更新日期：2024/6/11 9:34:46
所 在 地：中國大陸
產品型號：CVD-1200
相關標簽：天津1200℃真空CVD系統(tǒng)
優(yōu)質供應
詳細內容
1200℃真空CVD系統(tǒng)由滑動開啟式真空管式爐，混氣系統(tǒng)，真空及壓力系統(tǒng)等組成。此系統(tǒng)燒結溫度可達1200℃，通過滑動爐體來實現快速的升降溫；配置不同的真空系統(tǒng)來達到理想的真空度；同時通過三路高精度質量流量計控制不同氣體。
主要用途和適用范圍：
用于石墨烯生長、研發(fā)的用爐，也同樣適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。
主要技術參數：
| 爐體結構 | 雙層爐殼間配有風冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫； 日本技術真空吸附成型的優(yōu)質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 爐子底部裝有一對滑軌，移動平穩(wěn) 爐子可以手動從一端滑向另一端，實現快速的加熱和冷卻 支撐兩端安裝油壓緩沖器 爐蓋可開啟，可以實時觀察加熱的物料 |
| 機器電源 | 電壓：AC220V 50/60Hz；額定功率：4KW |
| 爐管 | 高純石英管，高溫下化學穩(wěn)定性強，耐腐蝕，熱膨脹系數小 尺寸：Φ40/60/80/100*1200mm |
| 法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速法蘭，通過用高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合 |
| 加熱系統(tǒng) | 加熱元件采用優(yōu)質合金絲0Cr27Al7Mo2，表面負荷高、經久耐用 加熱區(qū)長度：410mm 恒溫區(qū)長度：200mm 工作溫度：≤1150℃ 高溫度：1200℃ 升溫速率：10℃/min |
| 溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調節(jié)技術，具有PID調節(jié)、自整定功能 30段升降溫程序 測溫元件：N型熱電偶 恒溫精度：±1℃ |
| 混氣系統(tǒng) | 三路質量流量計：數字顯示、氣體流量自動控制 內置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 管路采用不銹鋼管，接口為Φ6卡套 每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥 通過控制面板上的旋鈕來調節(jié)氣體流量 流量規(guī)格：0~1SLM 流量精度：±1.5% |
| 真空系統(tǒng) | 采用雙旋片真空泵，真空度可達5x10-1 Torr 數顯式真空壓力表 可選高真空系統(tǒng)及真空計，壓力控制系統(tǒng)等 |
| 標準配置 | 主機1臺，說明書、合格證、保修卡各1份 |
| 可選配件 | 混氣系統(tǒng),中、高真空系統(tǒng)，各種剛玉、石英坩堝，石英管，計算機控制軟件，無紙記錄儀，氧含量分析儀。 |
