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產(chǎn)品展示

天津1700℃真空CVD系統(tǒng)

點(diǎn)擊次數(shù):29發(fā)布時(shí)間:2016/10/20 16:36:12

天津1700℃真空CVD系統(tǒng)

更新日期:2024/6/11 9:34:46

所 在 地:中國(guó)大陸

產(chǎn)品型號(hào):CVD-1700

簡(jiǎn)單介紹:1700℃真空CVD系統(tǒng)由高溫管式爐,高真空擴(kuò)散泵/分子泵系統(tǒng),多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng),自動(dòng)壓強(qiáng)控制系統(tǒng)等組成。可實(shí)現(xiàn)本底真空達(dá)0.001—0.0001Pa混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。

相關(guān)標(biāo)簽:天津1700℃真空CVD系統(tǒng) 

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

 

主要功能和特點(diǎn):
 1、真空系統(tǒng)可根據(jù)使用要求選擇我司擴(kuò)散泵機(jī)組或分子泵機(jī)組;
 2、可配合壓強(qiáng)控制儀控制氣體壓力實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制;
 3、數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)是由多路質(zhì)量流量計(jì),流量顯示儀等組成,實(shí)現(xiàn)氣體的流量的精密測(cè)量和控制; 
4、每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統(tǒng)的安全可靠。 5、采用水冷KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;
 6、管路采用世界Swagelok卡套連接,不漏氣;
 7、超溫、過(guò)壓時(shí),自動(dòng)切斷加熱電源及流量計(jì)進(jìn)氣,保證設(shè)備及實(shí)驗(yàn)的安全性。主要用途和適用范圍:適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長(zhǎng)等場(chǎng)所。主要技術(shù)參數(shù):
主要技術(shù)參數(shù):

SGL-1700
高溫爐
控溫方式
采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù),具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能,并可編制50段升降溫程序。
加熱元件
進(jìn)口1700型優(yōu)質(zhì)硅鉬棒
工作電源
AC220V  50Hz/60Hz;額定功率6kw
爐管材質(zhì)
99瓷氧化鋁剛玉管
爐管尺寸
Φ60/80/100*/1000mm
工作溫度
≤1600℃
溫度
1650℃
恒溫精度
±1℃
升溫速度
≤10℃/min
測(cè)溫元件
B型熱電偶
密封方式
不銹鋼水冷KF法蘭擠壓密封
ZK
真空系統(tǒng)
 
ZK-F
ZK-K
真空范圍
0.1-0.001Pa
0.1-0.01Pa
極限真空
5.0*10^-5Pa
5.0*10^-4Pa
產(chǎn)品配置
雙級(jí)旋片真空泵+分子泵
雙級(jí)旋片真空泵+擴(kuò)散泵
冷卻方式
風(fēng)冷
水冷
抽 速
110L/S
100L/S
測(cè)量方式
復(fù)合真空計(jì)
真空規(guī)管
電阻規(guī)+電離規(guī)
ZDC-I
壓強(qiáng)控制系統(tǒng)
測(cè)量范圍
1*10^5~1*10^-1 Pa
穩(wěn)壓
(真空)范圍
1*10^3~1*10Pa
壓力
(穩(wěn)定精度)
±3%
控制范圍
2.5*10^3~5*10^-1 Pa
控制精度
± 1%
 
 
HQZ-Ⅲ
混氣系統(tǒng)
 
控制方式
D07-7K質(zhì)量流量計(jì),D08流量顯示儀
流量規(guī)格(可訂制)
0-500SCCM /0-1SLM,
線 性
±1%F.S.
準(zhǔn)確度
±1%F.S.
重復(fù)精度
±0.2%F.S.
響應(yīng)時(shí)間
≤2sec
耐 壓
3MPa
氣路通道
3通道(根據(jù)客戶需求)
針 閥
316不銹鋼
管 道
Φ6mm不銹鋼管
接 口
SwagelokΦ6mm

 

聯(lián)系我們

聯(lián)系人:王小姐

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企業(yè)檔案

  • 會(huì)員類型:免費(fèi)會(huì)員
  • 工商認(rèn)證: 【已認(rèn)證】
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  • 注冊(cè)號(hào):
  • 企業(yè)類型:代理商
  • 注冊(cè)資金:人民幣300萬(wàn)

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