產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
劃片機(jī) 切割機(jī) 分切機(jī)
J51152/ZF6英寸劃片機(jī)主要技術(shù)規(guī)格：
硅片加工尺寸：Ø152.4mm (6")
x軸 (1)行程：200mm (2)工作行程范圍：20~160mm (3)切割速度分兩級(jí)： a)進(jìn)給：0.1~70mm/s 回程：70mm/s b)進(jìn)給：1~300mm/s 回程：300mm/s
y軸 (1)行程: 160mm (2)*小步進(jìn)距離:0.002mm (3)步進(jìn)距離:30mm/s (4)定位精度:0.003mm
z軸 (1)行程19mm(以Ø 50刀盤(pán)為準(zhǔn)) (2)*小步矩0.002mm
θ軸：手動(dòng)旋轉(zhuǎn)：90˚±30"（可微調(diào)）
主軸轉(zhuǎn)速范圍：10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)備尺寸mm(寬x深x高)：約906x1020x740
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