離心式清洗甩干機 清洗甩干機 甩干機 離心甩干機   離心式甩干機

HXS150S離心式清洗甩干機主要技術(shù)指標(biāo)及性能：

1．1個工作室、2個工位（同時放置2個片盒）

2．硅片規(guī)格4″～8″

3．無級調(diào)速、還轉(zhuǎn)速2500rpm

4．過濾器過濾精度：0.2μm

5．熱氨（N2）烘干、溫度40~50℃

6．具有去離子水電阻率檢測功能，電阻率大于18MΩ

7．具有靜電消除功能，以提高清洗質(zhì)量及清洗效率。

8．液晶全中文顯示、可編程控制、可存儲10個工藝程序。

9．參數(shù)監(jiān)控（電導(dǎo)率、工藝步驟、轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速和時間顯示） 及機內(nèi)故障診斷。電路、水路隔離、漏電保護、急停按 鈕、運行安全。

10．工作條件： 電源：220Vac50Hz 功率：2KW 凈化空氣：壓力：0.6Mpa 流量：2m3/h 凈化氫氣：壓力：0.5 Mpa流量：10m3/h 去離子水：壓力：0.3Mpa過濾精度：0.2μm 流量：0.6m3/h

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