主要技術(shù)指標

　　　質(zhì)量流量控制器（流量計）流量出廠通常用氮氣（N2）標定。

　　　質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；（SCCM行業(yè)標準）

　　　　　　　　　　　　L/min （升/分鐘）。  （SLM行業(yè)標準）

　　　標準狀態(tài)為：溫度－－－－273.15K（0℃）；

　　　            氣壓－－－－101325Pa（760mmHg）

　　　F.S（Full Scale）:表示滿量程值

表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器（流量計）技術(shù)指標

編號項目S49 32/MT

1流量規(guī)格（5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min

（1,2,3,5,10）L/min

2調(diào)節(jié)閥類型電磁調(diào)節(jié)閥

3調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài)常閉

4準確度±1.5%F.S

5線性±1.5%F.S

6重復(fù)精度±0.2%F.S

7響應(yīng)時間≤8秒（T95）

8工作壓差范圍（50～300）kPa;   （100～300）kPa（10L/min）

9耐壓3MPa;           10MPa

10工作環(huán)境溫度（5～45）℃

11材料不銹鋼316L

12標準密封材料Viton®，    EPDM，  或其他由用戶指定

13漏率1×10-8Pa.m3/s

14接頭Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR�；蚱渌捎脩糁付�

15輸入輸出信號（0～＋5.00）V （輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA）

16供電電源±15V（±5%）（＋15V  50mA,  －15V  200mA）

17外形尺寸mm130（寬）×102（高）×28（厚） 

18重量kg0．8

　　　S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器（流量計）特點：

　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。

　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON®、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。

　　　☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠。

　　　☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。

　　　☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量。

　　　S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器（流量計）主要應(yīng)用領(lǐng)域：

　　　半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制；

　　　分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制；

　　　各種形式的真空鍍膜設(shè)備；

　　　環(huán)境檢測與分析設(shè)備；

　　　化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；

　　　特種材料表面處理裝置與燃燒控制；

　　　混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2. S49系列質(zhì)量流量控制器（流量計）型號

　　　S49 32/MT 系列質(zhì)量流量控制器（流量計），S49為質(zhì)量流量控制器（流量計）產(chǎn)品，32/MT為本公司此產(chǎn)品設(shè)計序列號。

　　　質(zhì)量流量計用于對氣體的質(zhì)量流量精確測量計量；

質(zhì)量流量控制器（流量計）不但具有質(zhì)量流量計的測量計量功能，還具有自動控制氣體的質(zhì)量流量功能