LINE TECH質(zhì)量流量計(jì)  LINE TECH質(zhì)量流量控制器  LINE TECH質(zhì)量流量控制器  MFC/MFM   氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量控制器

  LINE TECH自1997年成立后邁進(jìn)了氣體控制相關(guān)技術(shù)工程，終于誕生出今天的M系列，MFC/MFM產(chǎn)品。

   LINE TECH氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入，直拉式晶爐，精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。

主要參數(shù)：

流量范圍：               0.005-1000（slpm）

響應(yīng)時(shí)間：               ≤2

精    度：               ≤1%或0.2%

重 復(fù) 性：               ±0.25

輸出信號：               0-5vdc或4-20mA

供電電壓：               15-28vdc

溫度范圍：               0-50℃

相關(guān)型號：

M3030V  M3030A  M3050V  M3050A  M3100V   M3100A   M3300V M3300A  M3500V  M3500A   

M2030V  M2030A  M2050V  M2050A  M2100V   M2100A    M2300A  M2300V   M2500A  M2500V

MD30C   MD50C   MD100C  MD300C  MD500C

MD30M   MD50M  MD100M  MD300M  MD500M