四探針電阻率測試儀主要技術參數(shù)：
1、 配有雙數(shù)字表：一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時，另一塊數(shù)字表適時監(jiān)測全過程中的電流變化，使操作更簡便，測量更精確。
數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV  靈敏度：100μV  輸入阻抗：1000ΜΩ
                   基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度）
2、 可測電阻率范圍：103 —10-3Ω•cm。
可測方塊電阻范圍：104 —10-2Ω/□。
3、 設有電壓表自動復零功能，當四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時，電壓表指零，只有1、4探針接觸到硅片，測量電流渡過單晶時，電壓表才指示2、3探針間的電壓（即電阻率）值，避免空間雜散電波對測量的干擾。
4、 流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供，不受氣候條件的影響，整機測量精度＜3%。
電流量程分四檔：100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 儀器采用觸點電阻更低（＜5mΩ）、使用壽命更長的轉換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù)，提高了測試儀的可靠性和使用壽命。
6、 四探針頭采用上的紅寶石軸套導向結構，使探針的游移率減小，測量重復性提高