產(chǎn)品展示
LEYBOLD萊寶真空泵，萊寶真空泵機(jī)組，萊寶真空泵系統(tǒng)
點(diǎn)擊次數(shù)：141發(fā)布時(shí)間：2011/12/27 15:21:41
更新日期：2012/1/13 15:10:31
所 在 地：歐洲
產(chǎn)品型號(hào)：SV630F
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
雙級(jí)旋片泵
TRIVAC C是雙級(jí)油封式旋片真空泵，TRIVAC C的高效，可靠，低噪音，易維護(hù)的設(shè)計(jì)特別適用于科研、化工、分析儀器以及制冷業(yè)和電光源產(chǎn)品的生產(chǎn)使用，也可做為大型真空系統(tǒng)的前級(jí)泵使用。
保修期自發(fā)貨之日起12個(gè)月。
- 抽速：8m3/h～60m3/h
- 極限分壓強(qiáng)：10-4mbar c/s
- 內(nèi)置防返油閥
TRIVAC C是雙級(jí)油封式旋片真空泵，TRIVAC C的高效，可靠，低噪音，易維護(hù)的設(shè)計(jì)特別適用于科研、化工、分析儀器以及制冷業(yè)和電光源產(chǎn)品的生產(chǎn)使用，也可做為大型真空系統(tǒng)的前級(jí)泵使用。
保修期自發(fā)貨之日起12個(gè)月。
- 抽速：8m3/h～60m3/h
- 極限分壓強(qiáng)：10-4mbar c/s
- 內(nèi)置防返油閥
| | | D8C | D16C | D30C | D40C | D60C |
| Nominal Pumping Speed （50Hz） | m3/h | 9.25 | 19.48 | 37.01 | 49.44 | 74.02 |
| Pumping Speed | m3/h | 8.11 | 17.01 | 32.24 | 42.99 | 64.37 |
| Nominal Pumping Speed （60Hz） | m3/h | 11.10 | 23.39 | 44.41 | 59.33 | 88.82 |
| Pumping Speed | m3/h | 9.65 | 20.33 | 38.64 | 51.78 | 72.23 |
| Ultimate Partial Pressure Without GB | mbr | 4×10-4 | 4×10-4 | 4×10-4 | 4×10-4 | 4×10-4 |
| Ultimate Total Pressure Without GB | mbr | 3×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 | 3×10-3 |
| Ultimate Total Pressure With GB | mbr | 6×10-3 | 6×10-3 | 6×10-3 | 6×10-3 | 6×10-3 |
| Water vapour tolerance | mbr | 30 | 20 | 40 | 20 | 25 |
| Connecting inlet ａnd exhaust | DN | KF25 | KF25 | KF40 | KF40 | KF40 |
| Noise （sound pressure level at 1m with GB closed/open（50Hz）） | db | 54/56 | 55/58 | 58/60 | 58/60 | 58/60 |
| Oil filling （Max/Min） | 1 | 1.1/0.7 | 1.5/1.0 | 3.7/3.2 | 5.0/4.4 | 5.0/4.5 |
| Weight without oil filling | Kg | 27 | 31 | 69 | 83 | 84 |
| Ambient temperature （Max/Min） | ℃ | 40/10 | 40/10 | 40/10 | 40/10 | 40/10 |
| Motor power 1Ph.220V.60Hz | W | 550 | 750 | | | |
| Total Length | mm | 471 | 560 | | | |
| Catalog | | 31046 | 31050 | | | |
| Motor power 3Ph.380V.50/60Hz | W | 550 | 750 | 1500 | 1500 | 2200 |
| Total Length | mm | 500 | 540 | 650 | 760 | 780 |
| Catalog | | 31018 | 31091 | 31108 | 31159 | 31158 |
德國(guó)萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為：
抽速：1.6m3/h～65m3/h
極限真空度：10-4mbar（無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
2×10-3mbar（無(wú)氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng)）
5×10-3mbar（帶氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng)）
耐水蒸汽能力：25mbar～40mbar
德國(guó)萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)：
1、內(nèi)置油泵，對(duì)泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤(rùn)滑。因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥，可在停泵時(shí)自動(dòng)將進(jìn)氣口截止，防止返油。
3、進(jìn)氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、極強(qiáng)的耐水蒸汽能力。
另外，萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。
- 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
- 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX，ATEX認(rèn)證防爆泵。
- 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
單級(jí)旋片泵
德國(guó)萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為：
抽速：10m3/h～1400m3/h
極限真空度：
SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B極限真空度為
<0.5mbar （無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
<1.5mbar （帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的極限真空度為
<8×10-2mbar （無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
<7×10-1mbar （帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
排水蒸氣能力：0.3～23公斤/小時(shí)
萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)有：
1、超強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過(guò)濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置，真空泵油循環(huán)使用，無(wú)油煙，清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。
6、SV630以下為風(fēng)冷，不需要水冷，經(jīng)濟(jì)方便。
7、低噪音，低振動(dòng)。
8、結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用，因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
抽速：1.6m3/h～65m3/h
極限真空度：10-4mbar（無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
2×10-3mbar（無(wú)氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng)）
5×10-3mbar（帶氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng)）
耐水蒸汽能力：25mbar～40mbar
德國(guó)萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)：
1、內(nèi)置油泵，對(duì)泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤(rùn)滑。因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥，可在停泵時(shí)自動(dòng)將進(jìn)氣口截止，防止返油。
3、進(jìn)氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、極強(qiáng)的耐水蒸汽能力。
另外，萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。
- 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
- 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX，ATEX認(rèn)證防爆泵。
- 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
單級(jí)旋片泵
德國(guó)萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為：
抽速：10m3/h～1400m3/h
極限真空度：
SV10B，SV16B，SV25B，SV40B，SV65B，SV100B極限真空度為
<0.5mbar （無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
<1.5mbar （帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
SV200，SV300，SV500，SV630/B/BF，SV750/B，SV1200，SV1400的極限真空度為
<8×10-2mbar （無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
<7×10-1mbar （帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)）
排水蒸氣能力：0.3～23公斤/小時(shí)
萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)有：
1、超強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過(guò)濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置，真空泵油循環(huán)使用，無(wú)油煙，清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。
6、SV630以下為風(fēng)冷，不需要水冷，經(jīng)濟(jì)方便。
7、低噪音，低振動(dòng)。
8、結(jié)構(gòu)緊湊，體型小，節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用，因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
德國(guó)萊寶的SOGEVAC BI 系列單級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為：
| | SV16BI | SV40BI |
| 抽速： | 16m3/h | 40m3/h |
| 排水蒸氣能力： | 0.03公斤/小時(shí) | 0.2公斤/小時(shí) |
| 極限真空度： | ≤0.05mbar （無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)） ≤0.5mbar （帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)） | |
SOGEVAC BI單級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)有：
1、極限壓強(qiáng)更低。
2、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
3、適用于分析儀器、實(shí)驗(yàn)室、照明、汽車等。
1、極限壓強(qiáng)更低。
2、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
3、適用于分析儀器、實(shí)驗(yàn)室、照明、汽車等。
膜片泵
單級(jí)膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2
- 抽速：0.6～2.2m3/h
- 極限真空：100mbar
- 噪音：51～60DB
雙級(jí)膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L
- 抽速：0.6～2.2m3/h
- 極限真空：8mbar
- 噪音：47～52DB
DIVAC系列的主要特點(diǎn)：
1、無(wú)油真空泵。
2、可選配氣鎮(zhèn)閥，耐水蒸氣能力強(qiáng)。
3、所有與介質(zhì)接觸的部件均由PTFE（聚四氟乙烯）和PVDF（聚偏氟乙烯）制成，因而具有極好的耐腐蝕性和耐溶劑性�？梢杂脕�(lái)抽除任何化學(xué)介質(zhì)。
4、緊湊，體積小。
5、易于清除凝聚物，易于更換膜片。
低極限真空、低震動(dòng)的膜片泵DIVAC
0.8T，0.8LT，2.5T，2.5VT，3.6LT，4.8VT
- 抽速：0.8～4.8m3/h
- 極限真空：0.5～3mbar
- 噪音：49～55DB
特點(diǎn)：
1、極限壓強(qiáng)低，抽速大。
2、低震動(dòng)，低噪音。
3、可用于德國(guó)萊寶TW系列的前級(jí)泵。
單級(jí)膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2
- 抽速：0.6～2.2m3/h
- 極限真空：100mbar
- 噪音：51～60DB
雙級(jí)膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L
- 抽速：0.6～2.2m3/h
- 極限真空：8mbar
- 噪音：47～52DB
DIVAC系列的主要特點(diǎn)：
1、無(wú)油真空泵。
2、可選配氣鎮(zhèn)閥，耐水蒸氣能力強(qiáng)。
3、所有與介質(zhì)接觸的部件均由PTFE（聚四氟乙烯）和PVDF（聚偏氟乙烯）制成，因而具有極好的耐腐蝕性和耐溶劑性�？梢杂脕�(lái)抽除任何化學(xué)介質(zhì)。
4、緊湊，體積小。
5、易于清除凝聚物，易于更換膜片。
低極限真空、低震動(dòng)的膜片泵DIVAC
0.8T，0.8LT，2.5T，2.5VT，3.6LT，4.8VT
- 抽速：0.8～4.8m3/h
- 極限真空：0.5～3mbar
- 噪音：49～55DB
特點(diǎn)：
1、極限壓強(qiáng)低，抽速大。
2、低震動(dòng)，低噪音。
3、可用于德國(guó)萊寶TW系列的前級(jí)泵。
羅茨泵
在250～2050米3/小時(shí)的抽速范圍內(nèi)，德國(guó)萊寶的羅茨泵的電機(jī)有直聯(lián)式（WA/WAU）和封閉式（WS/WSU）兩種規(guī)格，每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動(dòng)的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。
為了滿足某些行業(yè)中對(duì)大抽速羅茨泵的需要，德國(guó)萊寶還有另一個(gè)系列的大型羅茨泵（RA系列），其抽速為3900～13000米3/小時(shí)。
德國(guó)萊寶的RUVAC羅茨泵與專用的變頻器配合使用，可使泵的抽速增加（）100%，從而彌補(bǔ)了各規(guī)格之間的抽速空擋。
另外，德國(guó)萊寶還提供專門用于激光應(yīng)用的羅茨循環(huán)風(fēng)機(jī)。
德國(guó)萊寶羅茨泵的主要特點(diǎn)：
萊寶所有規(guī)格的羅茨泵均采用風(fēng)冷，無(wú)需循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。
WAU/WSU系列可以在大氣下啟動(dòng)，既可簡(jiǎn)化系統(tǒng)的控制程序，又提高了從大氣壓到10mbar范圍內(nèi)機(jī)組的抽速。
在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，即使在極限壓強(qiáng)附近，都具有很高的抽速。
加工精度高，可將前級(jí)真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
震動(dòng)小，噪音低。
有立式泵和臥式泵可供選擇。
WS/WSU系列為CANNED電機(jī)，與無(wú)油前級(jí)泵組合，可組成無(wú)油真空機(jī)組。
可以與變頻器配合使用，以增加或降低抽速。
在250～2050米3/小時(shí)的抽速范圍內(nèi)，德國(guó)萊寶的羅茨泵的電機(jī)有直聯(lián)式（WA/WAU）和封閉式（WS/WSU）兩種規(guī)格，每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動(dòng)的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。
為了滿足某些行業(yè)中對(duì)大抽速羅茨泵的需要，德國(guó)萊寶還有另一個(gè)系列的大型羅茨泵（RA系列），其抽速為3900～13000米3/小時(shí)。
德國(guó)萊寶的RUVAC羅茨泵與專用的變頻器配合使用，可使泵的抽速增加（）100%，從而彌補(bǔ)了各規(guī)格之間的抽速空擋。
另外，德國(guó)萊寶還提供專門用于激光應(yīng)用的羅茨循環(huán)風(fēng)機(jī)。
德國(guó)萊寶羅茨泵的主要特點(diǎn)：
萊寶所有規(guī)格的羅茨泵均采用風(fēng)冷，無(wú)需循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。
WAU/WSU系列可以在大氣下啟動(dòng)，既可簡(jiǎn)化系統(tǒng)的控制程序，又提高了從大氣壓到10mbar范圍內(nèi)機(jī)組的抽速。
在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)，即使在極限壓強(qiáng)附近，都具有很高的抽速。
加工精度高，可將前級(jí)真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
震動(dòng)小，噪音低。
有立式泵和臥式泵可供選擇。
WS/WSU系列為CANNED電機(jī)，與無(wú)油前級(jí)泵組合，可組成無(wú)油真空機(jī)組。
可以與變頻器配合使用，以增加或降低抽速。
分子泵機(jī)組
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升/秒，極限真空度為＜10-10mbar。
其主要特點(diǎn)為：
- 陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行 時(shí)間長(zhǎng)。
- 允許任意角度安裝。
- 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
- 對(duì)H2的壓縮比大。
- 無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的超高真空。
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格，抽速自50至1100升/秒，極限真空度為＜10-10mbar。
其主要特點(diǎn)為：
- 陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行 時(shí)間長(zhǎng)。
- 允許任意角度安裝。
- 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
- 對(duì)H2的壓縮比大。
- 無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的超高真空。
TW系列復(fù)合分子泵
抽速：70 ～ 1600 升/秒
極限真空度：10－9 mbar
允許前級(jí)壓強(qiáng)：6 ～ 14mbar
主要特點(diǎn)有：
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型，消除了葉片應(yīng)力，使得前級(jí)耐壓高達(dá) 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng)，使其在絕大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì)，避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
- 模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
- 無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
- 通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò)，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄；并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改，如頻率等。
- 高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。
抽速：70 ～ 1600 升/秒
極限真空度：10－9 mbar
允許前級(jí)壓強(qiáng)：6 ～ 14mbar
主要特點(diǎn)有：
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型，消除了葉片應(yīng)力，使得前級(jí)耐壓高達(dá) 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng)，使其在絕大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì)，避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
- 模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤(rùn)滑，無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
- 無(wú)油真空泵，可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
- 通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò)，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄；并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改，如頻率等。
- 高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。
新一代數(shù)字化控制，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT，MAG2000C/CT，MAG2200C/CT，MAG 2800C/CT，MAG 3200C/CT
抽速：1500l/s ～ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無(wú)油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體；
降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命；
葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長(zhǎng)（ >600 次），無(wú)需更換保護(hù)軸承。
高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障安全。
智能化電源，無(wú)需 UPS 。
帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在 2mbar 以上。
分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
的數(shù)字控制技術(shù)
運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息；
磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
在氣流長(zhǎng)時(shí)間（ 2 分鐘以上）過(guò)大，而使泵負(fù)載過(guò)高，發(fā)熱量過(guò)大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無(wú)識(shí)別性，可互換。
免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。
MAG 1500C/CT，MAG2000C/CT，MAG2200C/CT，MAG 2800C/CT，MAG 3200C/CT
抽速：1500l/s ～ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng)，自平衡性能好全無(wú)油，耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金，一次高速銑削成形，應(yīng)力小，強(qiáng)度高，耐沖擊，高溫變形量小，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎；轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能，適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體；
降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量，降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度，有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命；
葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
保護(hù)軸承為陶瓷軸承，壽命長(zhǎng)（ >600 次），無(wú)需更換保護(hù)軸承。
高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強(qiáng)度高，充分保障安全。
智能化電源，無(wú)需 UPS 。
帶拖動(dòng)級(jí)，前級(jí)耐壓在 2mbar 以上。
分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
的數(shù)字控制技術(shù)
運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置；
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ)，提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息；
磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制，信號(hào)處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí)，磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短；
在氣流長(zhǎng)時(shí)間（ 2 分鐘以上）過(guò)大，而使泵負(fù)載過(guò)高，發(fā)熱量過(guò)大時(shí)，泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無(wú)識(shí)別性，可互換。
免維護(hù)。
典型應(yīng)用：
適用于
所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。
德國(guó)萊寶于九十年代研發(fā)的*新型的DIP系列大口徑擴(kuò)散泵，對(duì)傳統(tǒng)擴(kuò)散泵在許多方面做了重大改進(jìn)，其主要特點(diǎn)：
- 抽速大；抽速范圍為3000～50000升/秒（ISO/DIN標(biāo)準(zhǔn)，既中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)），共分六種規(guī)格；
- 泵壁有凹槽，冷卻水管臥在凹槽內(nèi)，增大了接觸面積，冷卻效果好；
- 油蒸氣返流量低。不加外置水冷擋板并使用DIFFELEN普通礦物油，其返流量為1×10-3毫克/厘米2每分鐘，如果采用DC705硅油，返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分鐘；
- 極限真空度高；低于10-8mbar；
- 重量輕；50000升/秒抽速的DIP50000擴(kuò)散泵的重量?jī)H為560公斤；
- 采用插入擴(kuò)散泵內(nèi)部的多支加熱棒加熱，熱傳輸效率高，因此預(yù)熱、時(shí)間短；對(duì)于抽速為3000-20000升/秒的泵，預(yù)熱時(shí)間為小于25分鐘；30000和50000升/秒的泵，預(yù)熱時(shí)間小于30分鐘；
- 可在不停泵的情況下更換擴(kuò)散泵的加熱棒；
- 裝有過(guò)熱保護(hù)裝置，防止泵油過(guò)熱；
- 通過(guò)油觀察窗可隨時(shí)觀察油是否變質(zhì)；
- 有注油口和放油口，換油時(shí)無(wú)須把擴(kuò)散泵從真空系統(tǒng)中拆下；
- 允許前級(jí)壓力高，為0.6mbar。
- 在冶金、熱處理和鍍膜等領(lǐng)域，萊寶為客戶度身訂做各種規(guī)格的擴(kuò)散泵組。
