典型的系統(tǒng)配置包括：

• 放大倍數(shù)為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
• 1/3英寸CCD相機(jī); 0.5倍耦合鏡
• 自動(dòng)Z軸，30毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 自動(dòng)XY載物臺(tái)，200毫米x 200毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 具有3GB內(nèi)存和320GB硬盤的電腦，24英寸顯示器，以及澤塔三維功能軟件

三維表面瀏覽 :

傾斜，旋轉(zhuǎn)，縮放，濾波
體積計(jì)算

二維表面分析 : 

特征尺寸，直徑，面積
圖案間距，標(biāo)準(zhǔn)偏差
表面粗糙度
區(qū)域平均臺(tái)階高度

輪廓測(cè)量（輪廓儀）
臺(tái)階高度（臺(tái)階儀）
粗糙度參數(shù)（粗糙度測(cè)量）
多橫截面分析
平均值測(cè)量標(biāo)尺
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量標(biāo)記
傾斜度和表面波度補(bǔ)償
陣列式采樣序列
自動(dòng)數(shù)據(jù)與圖像輸出用于生產(chǎn)線SPC

應(yīng)用：精密測(cè)量

顯微鏡 三維顯微鏡 測(cè)量顯微鏡 光學(xué)顯微鏡 三維測(cè)量顯微鏡 三維精密測(cè)量 薄膜厚度檢測(cè) 精密臺(tái)階檢測(cè) 三維成像顯微鏡 輪廓儀 臺(tái)階儀

典型的系統(tǒng)配置包括：

• 放大倍數(shù)為5倍, 10倍, 20倍, 50倍, 100倍的物鏡
• 1/3英寸CCD相機(jī); 0.5倍耦合鏡
• 自動(dòng)Z軸，30毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 自動(dòng)XY載物臺(tái)，200毫米x 200毫米驅(qū)動(dòng)范圍
• 具有3GB內(nèi)存和320GB硬盤的電腦，24英寸顯示器，以及澤塔三維功能軟件

三維表面瀏覽 :

傾斜，旋轉(zhuǎn)，縮放，濾波
體積計(jì)算

二維表面分析 : 

特征尺寸，直徑，面積
圖案間距，標(biāo)準(zhǔn)偏差
表面粗糙度
區(qū)域平均臺(tái)階高度

輪廓測(cè)量（輪廓儀）
臺(tái)階高度（臺(tái)階儀）
粗糙度參數(shù)（粗糙度測(cè)量）
多橫截面分析
平均值測(cè)量標(biāo)尺
點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量標(biāo)記
傾斜度和表面波度補(bǔ)償
陣列式采樣序列
自動(dòng)數(shù)據(jù)與圖像輸出用于生產(chǎn)線SPC

 

應(yīng)用：精密測(cè)量

 

三維成像 樣品的真實(shí)顏色和形狀如何？ 獲取一幅測(cè)試樣品表面的全真彩色三維圖像往往是解決問(wèn)題的步，它對(duì)做決定具有參考價(jià)值。	尺寸 寬度與高度有多少？ 對(duì)在顯微鏡下才看得到的零件，只要在我們的儀器上做一次掃描即可準(zhǔn)確地測(cè)出諸如橫向尺寸、臺(tái)階高度、斜面傾角等參數(shù)。	三維精密測(cè)量 表面狀況如何？ 我們依據(jù)數(shù)以百萬(wàn)計(jì)的數(shù)據(jù)點(diǎn)計(jì)算出來(lái)的二維和三維粗糙度參數(shù)，當(dāng)然會(huì)比其它儀器用只掃一條線或只掃一個(gè)狹小視場(chǎng)所獲得的數(shù)據(jù)來(lái)得精確。	薄膜厚度檢測(cè) 表面上還有別的東西嗎？ 單層或多層薄膜可用我們的分光光度計(jì)（選項(xiàng)）來(lái)測(cè)量。這樣，用戶可以同時(shí)對(duì)表面形貌和長(zhǎng)在表面上的薄膜進(jìn)行研究。

顯微鏡 三維顯微鏡 測(cè)量顯微鏡 光學(xué)顯微鏡 三維測(cè)量顯微鏡 三維精密測(cè)量 薄膜厚度檢測(cè) 精密臺(tái)階檢測(cè) 三維成像顯微鏡 輪廓儀 臺(tái)階儀