旋片式真空泵
2X型旋片真空泵為雙級(jí)結(jié)構(gòu),它的工作性能由高壓級(jí)與低壓級(jí)二部分組成。當(dāng)設(shè)備獲得真空時(shí),高壓級(jí)排氣閥片將封閉,高壓級(jí)吸入的氣體將轉(zhuǎn)送到第二級(jí),并經(jīng)第二級(jí)吸入與排出,這樣真空設(shè)備可獲得一定的真空。該系列泵的極限真空度可達(dá)6×10-2pa。根據(jù)用戶使用情況,用戶可配備前級(jí)泵,由于增壓泵的抽氣力加強(qiáng),前級(jí)泵連續(xù)抽除,能使設(shè)備獲得更高的真空。該泵廣泛用于冶金、化工、電光源真空、真空鍍膜、食品包裝、醫(yī)藥、電子、干燥等領(lǐng)域使用。
2X旋片式真空泵的結(jié)構(gòu)及原理:
圖1是旋片式真空泵泵原理圖,轉(zhuǎn)子3及7與高真空室外1及低真空室6相切,轉(zhuǎn)子3及7沿箭頭方向旋轉(zhuǎn),帶動(dòng)轉(zhuǎn)子槽內(nèi)滑動(dòng)的轉(zhuǎn)片旋轉(zhuǎn),由于彈簧9及離心力的作用, 轉(zhuǎn)片外端緊貼高低真空室的內(nèi)表面滑動(dòng),把轉(zhuǎn)子與高低真空室所形成的月洼形空間從進(jìn)氣嘴2到排氣閥門5和從過氣管4到排氣閥門10之間分隔開來,形成二或三個(gè)容積,并且周期性的大小變化,當(dāng)在圖示旋片式真空泵位置繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí)A及C容積逐漸增大,被抽容積氣體沒進(jìn)氣嘴進(jìn)入泵內(nèi),同時(shí)B及D容積逐漸減少,壓力升高,隨后沖開排氣閥門5及10,將氣體排出真空室外,氣體經(jīng)過油面而排于大氣之中,因?yàn)橛褪茄妥∨艢忾T的,故能防止氣體返回真空室。當(dāng)抽氣壓強(qiáng)較高時(shí),高低真空室的閥門都排氣,相當(dāng)于單級(jí)泵,當(dāng)真空度較高時(shí),全部氣體進(jìn)入真空室,再由排氣閥門 10排出,此時(shí)二級(jí)串聯(lián)即進(jìn)入雙級(jí)泵工作。
如被抽除的氣體中含有較高的蒸汽氣體時(shí),在氣體受到壓縮而其蒸汽的分壓強(qiáng)超過此蒸汽在泵內(nèi)溫度下的飽和壓強(qiáng)時(shí),此時(shí)蒸氣被壓縮成為液體,旋片式真空泵無法排出,而混在真空油內(nèi),使泵的性能大大降低。如果摻入適量的空氣,使蒸汽在受到壓縮時(shí),其分壓強(qiáng)也低于泵溫的飽和壓強(qiáng),則蒸汽在變成液體前就能被排出泵外去,故本系列2X-4以上的泵都裝有能放入一定量氣體的摻氣閥11見圖1
1 | 高真空室外 | 2 | 進(jìn)氣嘴 | 3 | 轉(zhuǎn)子 | 4 | 過氣管 | 5 | 排氣閥門 |
6 | 低真空室 | 7 | 轉(zhuǎn)子 | 8 | 刮片 | 9 | 彈簧 | 10 | 排氣閥門 |
l、2X型真空泵是抽除氣體的基本設(shè)備,它可單獨(dú)使用,也可與增壓泵、擴(kuò)散泵、分子泵等超高真空泵連接在一起作為前級(jí)泵使用,廣泛用于電子器件制造、真空干燥、過濾、涂膜、焊接、冶煉及實(shí)驗(yàn)室裝備等。
2、使用環(huán)境溫度為5℃~40℃,進(jìn)氣口壓強(qiáng)小于10托的條件下,允許長期運(yùn)轉(zhuǎn),被抽氣體相對(duì)溫度大于90%時(shí),應(yīng)開氣鎮(zhèn)閥。
3、進(jìn)氣口敝通大氣連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)不得超過3分鐘.
4、不適抽除對(duì)金屬有腐蝕的、對(duì)泵油起化學(xué)反應(yīng)的、含有顆粒塵埃的氣體,以及含氧過高的、爆炸性的、有毒的氣體。