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產(chǎn)品展示

Tropel平坦度檢測設(shè)備

點擊次數(shù):403發(fā)布時間:2009/11/2 0:00:00

Tropel平坦度檢測設(shè)備

更新日期:1900/1/1 0:00:00

所 在 地:美國

產(chǎn)品型號:FM100

簡單介紹:高精度平坦度、平整度(Flatness)檢測設(shè)備;在國外的有著成熟的應(yīng)用,可以對BareWafer、Disk和精密工業(yè)部件的進行多參數(shù)的平坦度檢測。

相關(guān)標簽:

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細內(nèi)容

產(chǎn)品:FlatMaster100 for Wafer/Disk/Industry
Principle/原理:Grazing incidence Interferometer/斜入射干涉
Accuracy/精度:0.1μm/0.1微米 
Resolution/解析度:0.01μm/0.1微米
Part Size/尺寸范圍:12.5mm-100mm/12.5毫米-100毫米
Dynamic Range/動態(tài)測量范圍:30μm/30微米
Data Point/數(shù)據(jù)點:Up to 250,000/達250,000以上
Measurement Time/測量時間:〈5s per Measurement/單次測量小于5s
Standard Measurements/標準測量:Flatness/Line profile/Spherical radius
Optional Measurements/可選測量:Angularity/Parallelism/Perpendicularity
Data Analysis/數(shù)據(jù)分析:3D,topographic,yield,distribution
                       X,Y,circular and radial slice
                       Flat,spherical,and conical fit data
Materials/材料:Metals/金屬,Ceramics/陶瓷,Polymers/聚合體
Surface/表面:Precision ground,honed,polished and superfinished 

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