產(chǎn)品展示
UltroSort(Tropel自動(dòng)型平坦度檢測(cè)設(shè)備)
點(diǎn)擊次數(shù)：408發(fā)布時(shí)間：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
所 在 地：美國(guó)
產(chǎn)品型號(hào)：
相關(guān)標(biāo)簽：
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
Accuracy/精度:0.05μm/0.05微米
Resolution/解析度:0.01μm/0.1微米
Part Size Configuration/尺寸范圍配置:50mm-150mm & 100毫米-200毫米
Dynamic Range/動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍:30μm/30微米
Data Point/數(shù)據(jù)點(diǎn):Up to 250,000/達(dá)250,000以上
Measurement Time/測(cè)量時(shí)間:less than 5 seconds/小于五秒（量產(chǎn)設(shè)置下）
Throughput Time/量產(chǎn)時(shí)間:Clamped measurements 120 Wafer/hour
(每小時(shí)可測(cè)120片固定住的Wafer)
Measurement Datums/測(cè)量數(shù)據(jù):Front referenced,Back referenced
Clamped and local site
Measurement Parameters/測(cè)量參數(shù):Flatness/Bow/Parallelism
Data Analysis/數(shù)據(jù)分析:3D,color plot,slice plots,X,Y,circumferential
and radial,histogram plots,percent within plots
Surfaces:Lapped,polished,etched
