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產(chǎn)品展示

MAPS防震平臺

點擊次數(shù)：239發(fā)布時間：2009/11/2 0:00:00

MAPS防震平臺

更新日期：1900/1/1 0:00:00

所 在 地：日本

產(chǎn)品型號：

簡單介紹：隨著技術(shù)的進(jìn)步，半導(dǎo)體制造檢查工程越來越微細(xì)化和高速化。消除振動直接關(guān)系到改善產(chǎn)品的質(zhì)量問題。明立精機(jī)開發(fā)并提供了大量的能使半導(dǎo)體及液晶制造檢查裝置性能得到發(fā)揮的組合型除振系統(tǒng)，本公司在此領(lǐng)域有極高的信賴性和大量的成功實例。請在縮小投影型露光裝置，液晶激光退火裝置，各種検査裝置等的設(shè)計階段與我們聯(lián)系。我們會為你提供*合適的除振解決方案。

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優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

組合型主動除振系統(tǒng)。以氣壓啟動器控制實現(xiàn)水平及垂直全方向的優(yōu)化除振性能，在裝載臺振動時也可發(fā)揮出很高的控制性能。
主動隔振，避免共振的影響。

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聯(lián)系人：張嵐

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