更新日期：2009/7/3 9:13:23

所 在 地：

產(chǎn)品型號：GA-360E

簡單介紹：它是可以對用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體 (N2、O2、He、Ar、H2、Air) 中的微量不純物進行超高靈敏度、高精度 (*小檢測感度10ppb) 連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得長期穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進行了集中，所以系統(tǒng)升級也很容易。*適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理 。