更新日期：1900/1/1 0:00:00

所 在 地：

產(chǎn)品型號：

簡單介紹：　1、在氮氣節(jié)能潔凈過濾訂制機的試用過程中，對其內(nèi)部的潔凈度做測量。必須滿足顆粒≦10ea＠0.3um�。Α〃Q20ea＠0.2um。 　　2、對溫濕度作24小時不間斷的監(jiān)控。若氮氣節(jié)能潔凈過濾訂制機在完全關閉的情況下，濕度不能有超過＋／-5％RH的波動。 　　3、氮氣節(jié)能潔凈過濾訂制機內(nèi)濕度從60％RH降低到15％RH的時間不能超過30分鐘。 　　4、氮氣節(jié)能潔凈過濾訂制機內(nèi)放置的硅片的TDH試驗必須通過。即經(jīng)過干燥2小時的硅片不能有不正�；虺瑯朔殿w粒的現(xiàn)象產(chǎn)生（返顆粒取樣測試后總數(shù)平均數(shù)與原有硅片顆粒數(shù)對比≦10ea　（包括0.2um及0.3um））。 　　5、氮氣節(jié)能潔凈過濾訂制機內(nèi)放置的硅片盒，經(jīng)過干燥2小時后，硅片盒取樣及定點測試靜電值必須≦1kv。 　　6、氮氣節(jié)能潔凈過濾訂制機內(nèi)不能有氮氣的死角，使用風速測定儀來檢測內(nèi)部硅片放置各點的風速，不能有較大差異。