更新日期：2012/1/9 13:52:39

所 在 地：其它

產(chǎn)品型號：供應(yīng)無塵室氣體監(jiān)視器

簡單介紹：關(guān)鍵字： 無塵室氣體監(jiān)視器,日本橫河 隨著大規(guī)模集成電路的發(fā)展，從無塵室中清除酸堿性氣體或顆粒等氣體污染物就成為一個(gè)很重要的課題。 在一個(gè)64-Mbit的集成電路處理中，設(shè)計(jì)要求微粒直徑為0.25mm甚至更小。 在這里用到了化學(xué)增強(qiáng)光學(xué)電阻，而這種電阻產(chǎn)生的揮發(fā)堿顆粒，如氨質(zhì)子等，會(huì)導(dǎo)致零件的失效。 于是，為了保證正常生產(chǎn)就需要將堿性顆粒的濃度保持在1mg/m3以下。