產(chǎn)品展示
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細(xì)內(nèi)容
1.不受IPA或有機溶劑干擾
2.傳感器性能穩(wěn)定,運行可靠
3.熱裂解原理,熱裂解器緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計
4. 24VDC電源,低功耗設(shè)計(10W)
5. 4-20mA 標(biāo)準(zhǔn)信號輸出
6.具備狀態(tài)自檢功能
7.泵吸式,連續(xù)工作
SH-2607TS-N 專為檢測TEOS泄漏設(shè)計,被電磁隔膜泵抽取的樣品氣體輸送到熱裂解器中轉(zhuǎn)化成能被傳感器檢測的SiO2,專用傳感器型號為GS-2800SD。 SH-2607TS-N檢測器具備狀態(tài)自檢功能,可以自動檢測診斷系統(tǒng)故障,如:加熱器燒斷,電源故障等。 TEOS 作為一種液態(tài)硅材料的來源普遍應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓制造廠。TEOS 同時也是一種不易有效穩(wěn)定檢測的物質(zhì),傳統(tǒng)的電化學(xué)檢測系統(tǒng)經(jīng)常會被IPA干擾。 百歐尼仕(Bionocs) 開發(fā)的熱裂解技術(shù)將TEOS轉(zhuǎn)化成SiO2檢測,消除了干擾問題。良好的檢測選擇性可以有效的檢測TEOS不需擔(dān)心被IPA或乙醇有機溶劑干擾。
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