技術參數(shù)

X1軸

測量范圍: 50mm

分辨率: 0.2μm

測量方法:反射型光柵尺

驅動速度: 0.2, 1mm/s和手動

測量速度: 0.2, 0.5mm/s

測量方向:向后

直線度: 3.5μm/50mm , *當X軸在水平方向上

指示精度:±（3.5+2L/100）μm * L為驅動長度（mm）

Z1軸（檢測器）

測量范圍: 25mm

分辨率: 0.4μm

測量方法:弧形編碼器

指示精度:±（3.5+I4HI/25）μm （20°C時） *H為水平位置上的測量高度（mm）

探針上／下運作:弧形運動

探針方向:向下

測力: 10 - 30mN

跟蹤角度:向上：77°、向下：87°（根據(jù)表面粗糙度，使用標準單切面探針）

探針針尖半徑: 25μm、硬質合金針尖

重量: 5kg

電源: 100 - 240VAC±10%, 50/60Hz

能耗: 150W （僅限主機）