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北京冠普佳科技主營:顯微鏡、生物顯微鏡、體視顯微鏡、倒置顯微鏡、熒光顯微鏡、偏光顯微鏡、數碼顯微鏡、金相顯微鏡、工業(yè)顯微鏡等 EM01-PV多入射角激光橢偏儀 | |||||||||||||||||||||||||
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EM01-PV-III特點: 1.一體化樣品臺技術,兼容測量單晶和多晶太陽能電池樣品 EM01-PV-III應用領域:
EM01-PV-III技術指標: 激光波長 632.8nm (He-Ne laser) 膜層厚度精度 0.01nm (對于Si基底上110nm的SiO2膜層) 0.05nm (對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) 折射率精度 1x10-4 (對于Si基底上110nm的SiO2膜層) 5x10-4 (對于絨面Si基底上80nm的Si3N4膜層) 光學結構 PSCA 激光光束直徑 <1mm 入射角度 40°-90°可選,步進5° 樣品方位調整 三維平移調節(jié):±12.5mm(X-Y-Z三軸) 二維俯仰調節(jié):±4° 光學自準直系統(tǒng)對準 樣品臺尺寸 Φ170mm 單次測量時間 0.2s 推薦測量范圍 0-2000nm 外形尺寸(長x寬x高) 887 x 332 x 552mm (入射角為90º時) 儀器重量(凈重) 25Kg |