整個(gè)系統(tǒng)由X射線定向單元、計(jì)算機(jī)單元和粘接單元組成。定向單元是由高壓變壓器產(chǎn)生的高壓加到X射線管，X射線經(jīng)過(guò)狹縫照射到樣品表面上，在符合布拉格公式nλ=2dsinθ時(shí)產(chǎn)生衍射，衍射線由計(jì)數(shù)管接收，通過(guò)放大器將它的強(qiáng)度在微安表上顯示出來(lái)。測(cè)角儀可記錄到衍射峰位的角度值，輸入到計(jì)算機(jī)后計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角度α和β。根據(jù)所計(jì)算的α和β值，將晶棒在粘接臺(tái)上用粘接劑粘接。

    技術(shù)特性：

a) 主要性能：

該系統(tǒng)可對(duì)3～8英寸、長(zhǎng)度700mm的晶棒進(jìn)行定向和粘接。

b) 主要參數(shù)：

● X射線管：銅靶，強(qiáng)迫風(fēng)冷● 樣品旋轉(zhuǎn)角度：-10～50°

● 管電壓：30KVP，全壓合閘● 計(jì)數(shù)管：蓋革，工作電壓500～1100V

● 管電流：0～5mA，連續(xù)可調(diào)● 時(shí)間常數(shù)：1、2檔

● 整機(jī)耗電功率：小于0.5KW● 定位板旋轉(zhuǎn)角（α）：±10°, *小讀數(shù)0.001°

● 靈敏度：優(yōu)于0.01°● 晶棒旋轉(zhuǎn)角（β）：±90°, *小讀數(shù)0.1°

● *小角度讀數(shù)：0.001°● 直徑3～8英寸，長(zhǎng)度700mm