產(chǎn)品展示
表面微粒子計量器
點擊次數(shù)：354發(fā)布時間：2009/11/2 0:00:00
更新日期：1900/1/1 0:00:00
所 在 地：美國
產(chǎn)品型號：Pentagon QIII+ v2i Pres Rev2_03_0001.
優(yōu)質(zhì)供應(yīng)
詳細內(nèi)容
＊Surface Particle Detector, Mini-environmental Monitoring System
表面微粒子計量器, 小型環(huán)境微粒子、溫濕度、壓差、風(fēng)速監(jiān)控系統(tǒng)
美國Pentagon Technologies 的 QIII+ 應(yīng)用于設(shè)備機臺( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) Chamber 內(nèi)Surface Particles 量測, 可降低產(chǎn)品Defect和Test Wafer的使用量, 以及工作臺面積臺表面潔凈度..等的驗證. 此已為目前機臺維護作業(yè)時的標準工具. Q-view 為一針對Mini-environment, Factory Interface 等
Critical Area 可量測 Particle, △P, TRH, Velocity..的監(jiān)視模塊, 可實時反應(yīng)出Contamination Issue.
