•QIII+ SPD 表面粒子偵測機提供 0.3um sensitivity。
•應(yīng)用于設(shè)備機臺( PVD, CVD,.., Etch, Diffusion ) 
 chamber, load lock, slit valve, SMIF, HOUP 等等 PM
 后的驗證及 Parts cleaning 潔凈度驗證可降低產(chǎn)品
 Defect 和 Test Wafer 的使用量。
•量測：0.3,0.5μm, 所需求的范圍
•適合客戶群: 半導(dǎo)體黃光; 蝕刻製程; 零件清洗商;
 設(shè)備清潔維護; 光電廠; 玻璃基板廠..
•Capture filter 能收集 particles 經(jīng)由 EDX 或 FTIR
 分析 particle 成分。