真空泵是提高過濾效率，加強脫氣效果的重要過濾配套設(shè)備。為保障過濾介質(zhì)不被污染，一般均使用無油隔（膜式）真空泵。此類泵型的真空壓力一般在0.08Mpa左右（單級），而提高過濾速度關(guān)鍵是單位時間內(nèi)排氣量，即真空泵的流量指標(biāo)。在過濾量大，介質(zhì)粘度高，顆粒堵塞濾膜場合尤顯突出。
真空泵的使用壽命，除取決于正確的使用方法外（如減少無為的連續(xù)開機防止溶劑抽入泵體等）主要還在于電機功率合理和真空膜的設(shè)計形式及抗疲勞性。