CMI900/950系列X射線熒光測厚儀 Advanced Materials Analysis Instrument CMI900/950系列X射線熒光測厚儀是一種功能強(qiáng)大的材料涂/鍍層測量儀器，可應(yīng)用于材料的涂/鍍層厚度、材料組成、貴金屬含量檢測等領(lǐng)域，為產(chǎn)品質(zhì)量控制提供準(zhǔn)確、快速的分析�；赪indows2000中文視窗系統(tǒng)的中文版SmartLink FP應(yīng)用軟件包，實(shí)現(xiàn)了對CMI900/950主機(jī)的全面自動化控制，分析中不需要任何手動調(diào)整或手動參數(shù)設(shè)定。可同時測定*多5層、15種元素。數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)報(bào)告功能允許用戶自定義多媒體分析報(bào)告格式，以滿足您特定的分析報(bào)告格式要求；如在分析報(bào)告中插入數(shù)據(jù)圖表、測定位置的圖象、CAD文件等。統(tǒng)計(jì)功能提供數(shù)據(jù)平均值、誤差分析、值、*小值、數(shù)據(jù)變動范圍、相對偏差、UCL(控制上限)、LCL(控制下限)、CpK圖、直方圖、X-bar/R圖等多種數(shù)據(jù)分析模式。 CMI900/950系列X射線熒光測厚儀能夠測量多種幾何形狀、各種尺寸的樣品；并且測量點(diǎn)*小可達(dá)0.025 x 0.051毫米。 CMI900系列采用開槽式樣品室，以方便對大面積線路板樣品的測量。它可提供五種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為： l 標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。 l 擴(kuò)展型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。 l 可調(diào)高度型標(biāo)準(zhǔn)樣品臺：XY軸手動控制、Z軸自動控制。 l 程控樣品臺：XYZ軸自動控制。 l 超寬程控樣品臺：XYZ軸自動控制。 CMI950系列采用開閉式樣品室，以方便測定各種形狀、各種規(guī)格的樣品。同樣，CMI950可提供四種規(guī)格的樣品臺供用戶選用，分別為： l 全程控樣品臺：XYZ三軸程序控制樣品臺，可接納的樣品高度為150mm，XY軸程控移動范圍為300mm x 300mm。此樣品臺可實(shí)現(xiàn)測定點(diǎn)自動編程控制。 l Z軸程控樣品臺：XY軸手動控制，Z軸自動控制，可接納的樣品高度為270mm。 l 全手動樣品臺：XYZ三軸手動控制，可接納的樣品高度為356mm。 l 可擴(kuò)展式樣品臺用于接納超大尺寸樣品。 CMI900/950主要技術(shù)規(guī)格如下： No. 主要規(guī)格 規(guī)格描述 1 X射線激發(fā)系統(tǒng) 垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng) 空冷式微聚焦型X射線管，Be窗 標(biāo)準(zhǔn)靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等 功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標(biāo)準(zhǔn) 75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選X射線管功率可編程控制 裝備有安全防射線光閘 2 濾光片程控交換系統(tǒng) 根據(jù)靶材，標(biāo)準(zhǔn)裝備有相應(yīng)的一次X射線濾光片系統(tǒng) 二次X射線濾光片：3個位置程控交換，Co、Ni、Fe、V等多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選 位置傳感器保護(hù)裝置，防止樣品碰創(chuàng)探測器窗口 3 準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng) *多可同時裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器，程序交換控制 多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選：－圓形，如4、6、8、12、20 mil等－矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等 4 測量斑點(diǎn)尺寸 在12.7mm聚焦距離時，*小測量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準(zhǔn)直器) 在12.7mm聚焦距離時，測量斑點(diǎn)尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準(zhǔn)直器) 5 X射線探測系統(tǒng) 封氣正比計(jì)數(shù)器 裝備有峰漂移自動校正功能的高速信號處理電路 6 樣品室 CMI900 CMI950 －樣品室結(jié)構(gòu) 開槽式樣品室 開閉式樣品室 －樣品臺尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm －XY軸程控移動范圍 標(biāo)準(zhǔn)：152.4 x 177.8mm任選：50.8mm x 152.4mm 50.4mm x 177.8mm 101.6 x 177.8mm 177.8 x 177.8mm 610mm x 610mm 300mm x 300mm －Z軸程控移動高度 43.18mm XYZ程控時，152.4mmXY軸手動時，269.2mm －XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動控制 －樣品觀察系統(tǒng) 高分辨、彩色、實(shí)時CCD觀察系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。 激光輔助光自動對焦功能 可變焦距控制功能和固定焦距控制功能 7 計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置 IBM計(jì)算機(jī)：1.6G奔騰IV處理器，256M內(nèi)存，1.44M軟驅(qū)，40G硬盤，CD-ROM，鼠標(biāo)，鍵盤，17寸彩顯，56K調(diào)制解調(diào)器。惠普或愛普生彩色噴墨打印機(jī)。 8 分析應(yīng)用軟件 操作系統(tǒng)：Windows2000中文平臺中文分析軟件包：SmartLink FP軟件包 －測厚范圍 可測定厚度范圍：取決于您的具體應(yīng)用。請告訴牛津儀器您的具體應(yīng)用，我們將列表可測定的厚度范圍 －基本分析功能 無標(biāo)樣檢量線測厚，可采用一點(diǎn)或多點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)樣品自動進(jìn)行基本參數(shù)方法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應(yīng)用提供必要的校正用標(biāo)準(zhǔn)樣品。 樣品種類：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量) 可檢測元素范圍：Ti22 – U92 可同時測定5層/15種元素/共存元素校正 組成分析時，可同時測定15種元素 多達(dá)4個樣品的光譜同時顯示和比較 元素光譜定性分析 －調(diào)整和校正功能 系統(tǒng)自動調(diào)整和校正功能：校正X射線管、探測器和電子線路的變化對分析結(jié)果的影響，自動消除系統(tǒng)漂移 譜峰計(jì)數(shù)時，峰漂移自動校正功能 譜峰死時間自動校正功能 譜峰脈沖堆積自動剔除功能 標(biāo)準(zhǔn)樣品和實(shí)測樣品間，密度校正功能 譜峰重疊剝離和峰形擬合計(jì)算 －測量自動化功能(要求XY程控機(jī)構(gòu)) 鼠標(biāo)激活測量模式：“Point and Shoot” 多點(diǎn)自動測量模式：隨機(jī)模式、線性模式、梯度模式、掃描模式、和重復(fù)測量模式 測量位置預(yù)覽功能 激光對焦和自動對焦功能 －樣品臺程控功能(要求XY程控機(jī)構(gòu)) 設(shè)定測量點(diǎn) One or Two Datumn (reference) Points on each file 測量位置預(yù)覽(圖表顯示)