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產(chǎn)品展示

OLYMPUS奧林巴斯 自動(dòng)化半導(dǎo)體檢查顯微鏡

點(diǎn)擊次數(shù)：667發(fā)布時(shí)間：2009/11/2 0:00:00

OLYMPUS奧林巴斯 自動(dòng)化半導(dǎo)體檢查顯微鏡

更新日期：1900/1/1 0:00:00

所 在 地：日本

產(chǎn)品型號(hào)：MX80

簡(jiǎn)單介紹：OLYMPUS MX80 產(chǎn)品特性 ● 顯微鏡觀察所需操作基本電動(dòng)化，極大提高工作效率 ● 觀察條件可設(shè)定并存儲(chǔ)，使每個(gè)操作者得到*適宜自己的觀察條件 ● 兩種尺寸載物臺(tái)可選：分別用于200mm晶圓和300mm晶圓 ● 內(nèi)置式自動(dòng)聚焦和手動(dòng)聚焦兩種鏡體可選

優(yōu)質(zhì)供應(yīng)

詳細(xì)內(nèi)容

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OLYMPUS MX80 技術(shù)規(guī)格
MX80 目鏡/物鏡:
UIS 目鏡 F.N.26.5
UIS 物鏡 物鏡適配器，配合明視野物鏡

MX80 顯微鏡鏡體:
兼容鏡體 適用于200/300mm晶圓觀測(cè)，一個(gè)RS232C外部通訊接口。
電動(dòng)對(duì)焦部件：
  • 垂直行程25mm；Z軸向分辨率50nm(帶50倍或更高放大倍率的物鏡)
  • 各物鏡可進(jìn)行對(duì)焦調(diào)節(jié)；高度限制；載物臺(tái)降低(返回可設(shè)定)

    MX80 反光照明:
  • 照明(一體化)系統(tǒng)：
    電動(dòng)選擇觀測(cè)系統(tǒng)(4組分光鏡選擇，用于明視野法、暗視野法、偏振光和熒光照射觀測(cè))
  • 自動(dòng)聚焦(一體化)系統(tǒng)：
    激光主動(dòng)法。波長(zhǎng)：λ=780nm，CDRH 1級(jí)兼容。

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