K975X渦輪蒸鍍儀是一個(gè)多用途系統(tǒng)，它具有靈活性和模塊化擴(kuò)展功能，以適應(yīng)不同的樣品制備。
它可從蒸籃和坩鍋進(jìn)行碳蒸發(fā)、金屬蒸發(fā)并且可選濺射附件。
K975X可應(yīng)用一系列成熟技術(shù)，包括鍍碳及TEM覆形，碳/金屬蒸發(fā)、低角度Shadowing和通過(guò)使用雙源蒸發(fā)進(jìn)行順序涂層，可選的濺射鍍膜附件能適用于各種靶材。
通過(guò)使用微處理控制器，更增強(qiáng)了系統(tǒng)的靈活性，用戶很容易附加各種可選件，但是這些“缺省”都是經(jīng)過(guò)優(yōu)化操作設(shè)計(jì)，使得全自動(dòng)和手動(dòng)操作均可實(shí)現(xiàn)*佳操作。
獨(dú)特的抽屜式樣品裝載系統(tǒng)使用戶方便放入各種樣品，鉸鏈?zhǔn)巾斏w結(jié)構(gòu)很容易達(dá)到系統(tǒng)其它區(qū)域。
渦輪分子泵安裝在系統(tǒng)外部，可方便安裝及更換，它的前級(jí)真空為旋轉(zhuǎn)真空泵。 整個(gè)抽氣過(guò)程為全自動(dòng)控制，達(dá)到高真空后進(jìn)行蒸發(fā)。本儀器為臺(tái)式，可方便地進(jìn)行使用控制，使用中的疏忽也不易造成損壞。

K975S半導(dǎo)體晶圓蒸鍍儀
K975S基于K975X，但是它具有特殊的裝載鎖定門，可允許放入8英寸（200mm）晶圓鍍碳，應(yīng)用于FIB。