測(cè)量表面光潔度范圍： ▽3-▽9(相當(dāng)不平度0.8-80um) 
表面光潔度（級(jí)別）：9、8-7、6-5、4-3  
所需物鏡：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、14 倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12  
總放大倍數(shù)：510X、260X、120X、60X  
物鏡組件工作距離(mm):0.04、0.2、2.5、9.5 
視場(chǎng)（mm）:0.3、0.6、1.3、2.5  
不平寬度：用測(cè)微目鏡：　0.7微米~2.5毫米 
用座標(biāo)工作臺(tái)： （0.01~13）毫米  
儀器重量約： 23公斤  
儀器的成套性： 
1、儀器主體　　　　　　　　　　 1臺(tái) 
2、測(cè)微目鏡　　　　　　　　　　 1只 
3、座標(biāo)工作臺(tái)　　　　　　　　　 1件 
4、V型塊　　　　　　　　　　　　1件 
5、標(biāo)準(zhǔn)刻尺（連盒）　　　　　　 1件 
6、物鏡7X、14X、30X、60X　　　　各1只 
7、可調(diào)變壓器220/4~6V　　　　 　1只 
8、6V2.1W燈泡（備用件）　　　　 3只