J51152/ZF6英寸劃片機

劃片機 切割機 分切機

J51152/ZF6英寸劃片機主要技術規(guī)格：

硅片加工尺寸：Ø152.4mm (6")

x軸　 (1)行程：200mm (2)工作行程范圍：20~160mm (3)切割速度分兩級： a)進給：0.1~70mm/s 回程：70mm/s b)進給：1~300mm/s 回程：300mm/s

y軸　 (1)行程: 160mm (2)*小步進距離:0.002mm (3)步進距離:30mm/s (4)定位精度:0.003mm

z軸　 (1)行程19mm(以Ø 50刀盤為準) (2)*小步矩0.002mm

θ軸：手動旋轉：90˚±30"（可微調）

主軸轉速范圍：10,000~40,000r/min (通常在30,000r/min) 功率 400W CCD對準系統設備尺寸mm(寬x深x高)：約906x1020x740

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