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離心式清洗甩干機(jī) 清洗甩干機(jī) 甩干機(jī) 離心甩干機(jī) 離心式甩干機(jī)
HXS150S離心式清洗甩干機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)及性能：
1．1個(gè)工作室、2個(gè)工位（同時(shí)放置2個(gè)片盒）
2．硅片規(guī)格4″～8″
3．無級(jí)調(diào)速、還轉(zhuǎn)速2500rpm
4．過濾器過濾精度：0.2μm
5．熱氨（N2）烘干、溫度40~50℃
6．具有去離子水電阻率檢測(cè)功能，電阻率大于18MΩ
7．具有靜電消除功能，以提高清洗質(zhì)量及清洗效率。
8．液晶全中文顯示、可編程控制、可存儲(chǔ)10個(gè)工藝程序。
9．參數(shù)監(jiān)控（電導(dǎo)率、工藝步驟、轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速和時(shí)間顯示） 及機(jī)內(nèi)故障診斷。電路、水路隔離、漏電保護(hù)、急停按 鈕、運(yùn)行安全。
10．工作條件： 電源：220Vac50Hz 功率：2KW 凈化空氣：壓力：0.6Mpa 流量：2m3/h 凈化氫氣：壓力：0.5 Mpa流量：10m3/h 去離子水：壓力：0.3Mpa過濾精度：0.2μm 流量：0.6m3/h
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