測量*小值：≤1nm；
鍍膜折射率范圍：1.3 ~ 2.49
入射角：40°～90°　　誤差≤0.05°；
偏振器方位角范圍：0°～180°；
偏振器步進角：0.0375°/步；
儀器測量精度：在10nm處誤差為±0.5nm；
光學中心高度：75㎜；
允許樣品尺寸直徑：Φ10~Φ120㎜，厚度≤10㎜；
外形尺寸：730 x230X 290；
主機重量：30kg；
本儀器分為光源、接收器、主機、電子及通訊四部分，外觀參看左圖。
1、　光源：采用波長為632.8nm的氦氖激光光源①其特點是：光強大、光譜純、波長穩(wěn)定性好。

2、　接收器：采用光電倍增管⑤，把光訊號變?yōu)殡娪嵦枺?jīng)放大后輸出至微機，由微機選擇出消光位置的角度值。

3、　主機部分：除以上兩項外，還有起偏組件②，樣品臺③，檢偏組件④。

4、電子及通訊部分⑥：采集光強及對應的角度值并傳輸?shù)接嬎銠C，再接收由計算機發(fā)出的指令逐步靠近消光點。