THICK800A電子元件膜厚儀

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

   下照式設(shè)計(jì)：可以快速方便地定位對(duì)焦樣品。

   無(wú)損變焦檢測(cè):可對(duì)各種異形凹槽進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)，凹槽深度范圍0-90mm。

   微聚焦射線裝置：可檢測(cè)面積小于0.002mm2的樣品，可測(cè)試各微小的部件。

   率的接收器：即使測(cè)試0.01mm2以下的樣品，幾秒鐘也能達(dá)到穩(wěn)定性。

   精密微型滑軌：快速定位樣品。

   EFP*算法軟件：多層多元素，甚至有同種元素在不同層也難不倒EFP算法軟件。

儀器規(guī)格：

  外形尺寸 ：550 mm x 480mm x 470 mm （長(zhǎng)x寬x高）

  樣品倉(cāng)尺寸 ：500mm×360 mm ×215mm （長(zhǎng)x寬x高）

  儀器重量 ：55kg

  供電電源 ：交流220±5V

  *功率 ：330W

  環(huán)境溫度：15℃-30℃

  環(huán)境相對(duì)濕度：<70%

技術(shù)參數(shù)：

元素分析范圍從硫(S)到鈾（U）。
同時(shí)可以分析30種以上元素，五層鍍層。
分析檢出限可達(dá)2ppm，薄可測(cè)試0.005μm。
分析含量般為ppm到99.9% 。
鍍層厚度般在50μm以內(nèi)（每種材料有所不同）
任意多個(gè)可選擇的分析和識(shí)別模型。
相互獨(dú)立的基體效應(yīng)校正模型。
多變量非線性回收程序
多次測(cè)量重復(fù)性可達(dá)0.1%
工作穩(wěn)定性可達(dá)0.1%
度適應(yīng)范圍為15℃至30℃。
電源: 交流220V±5V 建議配置交流凈化穩(wěn)壓電源。
外觀尺寸： 576(W)×495(D)×545(H) mm
樣品室尺寸：500(W)×350(D)×140(H) mm
重量：90kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

開放式樣品腔。
精密二維移動(dòng)樣品平臺(tái)，探測(cè)器和X光管上下可動(dòng)，實(shí)現(xiàn)三維移動(dòng)。
雙激光定位裝置。
鉛玻璃屏蔽罩。
Si-Pin探測(cè)器。
信號(hào)檢測(cè)電子電路。
高低壓電源。
X光管。
高度傳感器
保護(hù)傳感器

計(jì)算機(jī)及噴墨打印機(jī)