Thick800A精度高的膜厚儀

1   分析元素范圍：K-U

2   同時可分析多達(dá)5層以上鍍層

3   分析厚度檢出限*達(dá)0.005μm

4   多次測量重復(fù)性*可達(dá)0.01μm

5   定位精度：0.1mm

5   測量時間：30s-300s

6   計數(shù)率：1300-8000cps

7   Z軸升降范圍：0-140mm

8   X/Y平臺可移動行程：50mm(W)×50mm(D)

性能特點

1 滿足各種不同厚度樣品以及不規(guī)則表面樣品的測試需求

2 φ0.1mm的小孔準(zhǔn)直器可以滿足微小測試點的需求

安裝要求：

1   環(huán)境溫度要求：15℃-30℃

2   環(huán)境相對濕度：<70%

3   工作電源：交流220±5V

4   周圍不能有強(qiáng)電磁干擾。

1    硬件：主機(jī)壹臺，含下列主要部件： 

(1)   X光管                 (2)  半導(dǎo)體探測器

(3)  放大電路                (4) 高精度樣品移動平臺

(5)  高清晰攝像頭            (6) 高壓系統(tǒng)

(7)  上照、開放式樣品腔      (8）雙激光定位

(9)  玻璃屏蔽罩

2   軟件：天瑞X射線熒光光譜儀FpThick分析軟件V1.0

3   計算機(jī)、打印機(jī)各臺

計算機(jī)（品牌，P4，液晶顯示屏）、打印機(jī)（佳能，彩色噴墨打印機(jī)）

4   資料：使用說明書（包括軟件操作說明書和硬件使用說明書）、出廠檢驗合格證明、裝箱單、保修單及其它應(yīng)提供資料各份。

5   標(biāo)準(zhǔn)附件

準(zhǔn)直孔：0.1X1.0mm（已內(nèi)置于儀器中）

參數(shù)規(guī)格

1   分析元素范圍：K-U

2   同時可分析多達(dá)5層以上鍍層

3   分析厚度檢出限*達(dá)0.005μm

4   多次測量重復(fù)性*可達(dá)0.01μm

5   定位精度：0.1mm

5   測量時間：30s-300s

6   計數(shù)率：1300-8000cps

7   Z軸升降范圍：0-140mm

8   X/Y平臺可移動行程：50mm(W)×50mm(D)