實(shí)現(xiàn)了多種動(dòng)作的定位模塊

該定位模塊以精密定位工作臺TU為基礎(chǔ)，組合使用高剛性型交叉滾子軸承和直線導(dǎo)軌，為校準(zhǔn)工作臺開發(fā)而成。

無需調(diào)整高度

高度尺寸容許公差控制在±10μm的高精度范圍內(nèi)。 無需調(diào)整各校準(zhǔn)模塊AM的高度，即可構(gòu)建校準(zhǔn)工作臺。

可自由設(shè)計(jì)符合用途的工作臺

可將校準(zhǔn)模塊AM與各種工作臺和基座組合使用，自由設(shè)計(jì)符合用途的校準(zhǔn)工作臺。

 

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產(chǎn)品AM介紹：

IKO校準(zhǔn)模組AM組合了精密定位工作臺TU、高剛性型交叉滾子軸承和直線導(dǎo)軌E，是為校準(zhǔn)工作臺而開發(fā)的定位模塊。高度尺寸的容許公差控制在±10μm的高精度范圍內(nèi)，無需調(diào)整各校準(zhǔn)模塊的高度即可構(gòu)建校準(zhǔn)工作臺IKO。校準(zhǔn)模塊AM組合了精密定位工作臺TU、高剛性型交叉滾子軸承和直線導(dǎo)軌E，是為校準(zhǔn)工作臺而開發(fā)的定位模塊。高度尺寸的容許公差控制在±10μm的高精度范圍內(nèi)，無需調(diào)整各校準(zhǔn)模塊的高度即可構(gòu)建校準(zhǔn)工作臺。
注半導(dǎo)體行業(yè)，真空環(huán)境   潔凈環(huán)境等