產品展示
佧奈兒 IKO校準工作臺
點擊次數：0發(fā)布時間：2022/8/22 15:00:13
更新日期：2022/8/26 10:01:29
所 在 地：中國大陸
產品型號：SA..DE
相關標簽：佧奈爾IKO校準工作臺SA..DE
優(yōu)質供應
詳細內容
1：IKO校準工作臺SA･･･DE在直線導軌部使用IKO C套筒直線導軌L，在旋轉導向部使用IKO
交叉滾子軸承，在驅動部采用直接驅動方式，是實現(xiàn)了XYθ運動的低截面緊湊型校準工作
臺。產品詳情頁請點擊這里 校準工作臺SA･･･DE通過組合高分辨率線性光柵尺和全閉環(huán)控
制，實現(xiàn)了沒有背隙的高精度定位動作。包括半導體及液晶相關制造裝置在內，適合作為
基于圖像處理的定位處理、要求清潔環(huán)境的測量儀和檢查裝置等設備的定位機構。
交叉滾子軸承，在驅動部采用直接驅動方式，是實現(xiàn)了XYθ運動的低截面緊湊型校準工作
臺。產品詳情頁請點擊這里 校準工作臺SA･･･DE通過組合高分辨率線性光柵尺和全閉環(huán)控
制，實現(xiàn)了沒有背隙的高精度定位動作。包括半導體及液晶相關制造裝置在內，適合作為
基于圖像處理的定位處理、要求清潔環(huán)境的測量儀和檢查裝置等設備的定位機構。
2：直線電機驅動的X、Y軸有0.1μm和0.5μm兩種分解能，可根據用途選擇。校準工作臺SA･･･DE的直
線導向部使用直線導軌L和將直線電機驅動的可動臺做雙軸正交組合的XY軸，旋轉導向部的θ軸采用交
叉滾子軸承和直接驅動方式，是款低斷面緊湊型做XYθ運動的校準工作臺。通過高分解能線性編碼器搭配全閉環(huán)控制，實現(xiàn)了沒有后移間隙的高精度定位。
而且，直線移動用的X軸可動工作臺和旋轉定位部θ軸轉臺均已標準化，可方便地進行X軸和θ軸的組合或架構XY軸的校準工作臺。
3：IKO直接驅動型校準工作臺SA･･･DE的直線導向部使用IKO自潤滑直線導軌L，旋轉導向部
使用IKO交叉滾子軸承，驅動部采用直接驅動方式，是款低斷面緊湊型做XYθ運動的校準工作臺。
校準工作臺SA･･･DE通過高分解能線性光柵尺搭配全閉環(huán)控制，實現(xiàn)了沒有后移間隙的高精度定位。
適合于用作半導體和液晶制造設備等利用圖像處理進行校準處理以及要求清潔環(huán)境的測量儀器和檢驗設備等的定位機構。
