四探針電阻率測試儀在中國標(biāo)準(zhǔn)分類中，四探針法涉及到半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、金屬物理性能試驗方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導(dǎo)體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導(dǎo)體材料、金屬無損檢驗方法。
GB/T 6617-2009 硅片電阻率測定 擴(kuò)展電阻探針法
GB/T 14141-2009 硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的測定.直排四探針法
GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測定 直流兩探針法
GB/T 6617-1995 硅片電阻率測定 擴(kuò)展電阻探針法
GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測定直排四探針法
本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
四探針電阻率測試儀半導(dǎo)材料四探針測試儀（BEST-300C）
半導(dǎo)電材料電阻測試儀BEST-300C
特點：電阻精度：0.01%，小分辨率0.1uΩ；
方電阻精度：1%，小分辨率：0.1uΩ；
雙電測原理，提?精度和穩(wěn)定性；
測試探頭直排和矩形可選；
標(biāo)配RS232、LAN、IO、通訊接?；
可配戴軟件查看和記錄測試數(shù)據(jù)；
四探針電阻率測試儀適用范圍
使?四探針治具測試?狀或塊狀半導(dǎo)體材料、?屬涂層以及導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率
使?開爾?測試夾直接測試電阻器直流電阻；
四端測試法是目較之測試方法，主要針對高精度要求之產(chǎn)品測試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測試儀自動測量并根據(jù)測試結(jié)果自動轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動生成圖表和報表。
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、單位自動換算，配置不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測試項目要求選購.
提供中文或英文兩種語言操作界面選擇，滿足國內(nèi)及國外客戶需求
四探針?阻測試儀是運(yùn)?四探針原理測量?塊電阻的?儀器，電阻率和電導(dǎo)率同時顯?。儀器
測試范圍0-10MΩ，分辨率0.1uΩ，電阻精度0.01%，精度2%�？�?于測試半導(dǎo)體、?屬涂層導(dǎo)電薄膜等材料的?阻和電阻率。
參數(shù)便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；
基本設(shè)置操作簡單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時顯示。
精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.01％；
方阻基本準(zhǔn)確度：1%；
電阻率基本準(zhǔn)確度：1%
整機(jī)測量相對誤差：≤±1%；整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±1%
四位半顯示讀數(shù)；十量程自動或手動測試；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ 10檔分選；實現(xiàn)HIGH/IN/LOW分選
測量范圍寬： 電阻：10-7Ω～10+8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10+8Ω/□；
正反向電流源修正測量電阻誤差
四探針電阻率測試儀恒流源：電流量程為：DC100mA-1A；儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測件，即先讓探針頭壓觸在被測材料上，后開恒流源開關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對材料及測量并無影響時，恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
可配合多種探頭進(jìn)行測試；也可配合多種測試臺進(jìn)行測試。
校正功能：可手動或自動選擇測試量程 全量程自動清零。
厚度可預(yù)設(shè)，自動修正樣品的電阻率,無需查表即可計算出電阻率。
自動進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測量,顯示平均值.測薄片時,可自動進(jìn)行厚度修正。