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電子級硫酸顆粒管控的難點及解決方法
點擊次數(shù)：150 發(fā)布時間：2023/4/17 9:59:25
近期普洛帝測控液體顆粒計數(shù)器部門接到好幾個咨詢電話，都是咨詢管控電子硫酸的儀器。
什么是電子硫酸？
電子硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純試劑，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中不可缺少的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學試劑。
電子硫酸有哪些應(yīng)用？
電子硫酸廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路的裝配和加工過程，主要用于硅晶片的清洗和蝕刻，可有效除去晶片上的雜質(zhì)顆粒，無機殘留物和碳沉積物。
為什么要對電子硫酸進行顆粒管控？
電子硫酸的純度和潔凈度對電子元的件成品率、電性能及可靠性有著重要的影響。電子硫酸是芯片制造工藝中用量大的電子化學品，主要用于去除晶圓片上殘留的金屬和有機物雜質(zhì)，質(zhì)量要求高，產(chǎn)品中金屬離子須達到ppt（ppt=1ng/Kg=10-12）。
原創(chuàng)作者：灃西新城諾明翰儀器服務(wù)中心
