主要參數(shù)

適用范圍：

10⁵～5x10^-7Pa

真空漏率：

≤1x10^-10Pa.m³/s

適用溫度：

-30～300℃

驅動方式：

手動

驅動方向：

直線

安裝狀態(tài)：

任意方向

連接方式：

CF法蘭或客戶指定

主要零件材料

焊接波紋管

316L

刻度圓柱

304

進給刻度盤

LV12陽極化 

訂貨型號

接口法蘭

驅動距離(mm)

精度(mm)

L（mm）

R/E(mm)

A(mm)

B(mm)

C(mm)

D(mm)

K(mm)

LMF-N-CF35-50

CF35

50

0.02/0.01

130

56/106

34

70

47

M4X10

24

LMF-N-CF35-100

CF35

100

0.02/0.01

180

76/176

34

70

47

M4X10

24

LMF-N-CF35-150

CF35

150

0.02/0.01

230

96/246

34

70

47

M4X10

24

訂貨型號

接口法蘭

驅動距離S(mm)

精度(mm)

L

（mm）

A

(mm)

B

(mm)

C

(mm)

MD x K

(mm)

LMF-S-CF16-50

CF16

50

0.02/0.01

184

11

34

45

M5x12

LMF-S-CF16-100

CF16

100

0.02/0.01

255

11

34

45

M5x12

LMF-S-CF35-50

CF35

50

0.02/0.01

156

12

70

47

M6x12

LMF-S-CF35-100

CF35

100

0.02/0.01

230

12

70

47

M6x12

LMF-S-CF35-150

CF35

150

0.02/0.01

310

12

70

47

M6x12